[发明专利]用于基材加工的装置和方法

权利要求书

1.设备(1；20)，其用于在加工系统中加工基材(11，11’)，该加工系统具有布置在至少一个加工区域(2；2’)中的至少一个加工工具(3；21)，该设备具有在加工区域(2；2’)中彼此相对布置的两个基材平面(A，B；A’，B’)，所述基材平面是至少近似竖直取向的，其中该设备(1；20)适用于依靠该加工工具(3；21)，来在加工区域(2；2’)中同时加工至少两个基材(11，11’)，其中该基材(11，11’)能够如此布置在所述基材平面(A，B；A’，B’)中，以使得该基材(11，11’)的涂层(13，13’)彼此面对面，并且至少在所述加工期间，在所述基材(11，11’)之间形成了准封闭的加工空间(12；12’)。

2.根据权利要求1的设备(1；20)，其中所述基材平面(A，B；A’，B’)相对于它们的竖直部分是平行取向的。

3.根据权利要求1或者2之一的设备(1；20)，其中为了形成封闭的加工空间(12；12’)，在所述基材之间布置框架。

4.根据权利要求1-3之一的设备(1；20)，其中提供了基材传输装置(5，6)，所述基材传输装置(5，6)经配置用来将基材(11，11’)在加工工具(3；21)旁传输穿过所述设备(1；20)，和/或提供了加工工具传输装置，所述加工工具传输装置经配置用来将所述加工工具在基材旁传输穿过所述设备。

5.根据权利要求1-4之一的设备(1)，其中所述加工工具(3)布置在两个基材平面(A，B)之间，和/或该加工工具是布置在所述两个基材平面(A’，B’)之外的热源(21)。

6.根据权利要求1-5之一的设备(1；20)，其中所述基材平面(A，B；A’，B’)具有滚动体(9)，所述滚动体(9)经配置用于支承所述基材(11，11’)。

7.根据权利要求6的设备(1；20)，其中所述基材传输装置(5，6)具有滚动体(9)。

8.根据权利要求6或者7之一的设备(1；20)，其中所述滚动体(9)为槽形，以形成针对基材(11，11’)的导沟(10)。

9.根据权利要求1-8之一的设备，其中在所述加工区域中提供至少一个气体入口和/或布置在所述基材平面下方的至少一个盆。

10.根据权利要求1-9之一的设备，其中在基材平面之间布置有框架。

11.方法，其用于在加工系统中加工经涂覆的基材(11，11’)，该加工系统具有布置在至少一个加工区域(2；2’)中的至少一个加工工具(3；21)，其中至少两个基材(11，11’)布置在该加工区域(2；2’)中彼此相对布置的基材平面(A，B；A’，B’)中，其中所述基材平面(A，B；A’，B’)至少近似竖直取向，其中所述基材(11，11’)具有涂层(13，13’)，并且所述基材(11，11’)各自如此彼此相对布置：以使得所述基材(11，11’)的所述涂层(13，13’)彼此面对面，和其中至少在所述基材(11，11’)之间的所述加工期间，形成了在所述基材之间的准封闭的加工空间(12；12’)。

12.根据权利要求11的方法，其中为了形成封闭的加工空间(12；12’)，在所述基材之间布置有框架(23)。

13.根据权利要求11或者12之一的方法，其中将载气和/或加工气体引入到所述基材平面(A，B；A’，B’)之间。

14.根据权利要求11-13之一的方法，其中所述基材(11，11’)移动经过所述加工工具(3；21)，和/或所述加工工具移动经过该基材。

15.根据权利要求1-10之一的设备和根据权利要求11-14之一的方法用于生产薄膜太阳能电池或者薄膜太阳能电池模块，特别是CIS(CIGSSe)-薄膜太阳能电池或者CIS(CIGSSe)-薄膜太阳能电池模块的用途，其中每个基材特别是以玻璃板形式形成的，并且至少涂覆有元素Cu、In或者Cu、In、Ga或者Cu、In、Ga、硒，用于硒化和/或硫化黄铜矿薄膜半导体。