[发明专利]物理量传感器

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，

具有：弹簧部、与所述弹簧部连结而在高度方向上被支承成能够变位的重物部、与所述重物部在高度方向上对置的对置部，

在所述对置部与所述重物部之间配置有高度不同的多个突起部，在所述重物部朝向高度方向变位时，所述重物部与所述对置部之间能够经由各突起部而阶段性地抵接，且所述重物部与所述对置部之间能够阶段性地分离。

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

具有第一突起部和高度比所述第一突起部的高度低的第二突起部，在所述重物部的平面的一个方向上的正中处配置所述第一突起部，在所述第一突起部的两侧空出间隔地配置所述第二突起部，或者，在所述正中处配置所述第二突起部，在所述第二突起部的两侧空出间隔地配置所述第一突起部。

3.根据权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

具有第一突起部和高度比所述第一突起部的高度低的第二突起部，在所述重物部的平面的一个方向上的两侧分别配置所述第一突起部和所述第二突起部。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的物理量传感器，其特征在于，

所述突起部设置在所述对置部的与所述重物部对置的表面上。

5.根据权利要求4所述的物理量传感器，其特征在于，

在所述对置部的表面上，在未形成所述突起部的区域形成有固定电极层，所述固定电极层的表面形成得比以最低的高度形成的所述突起部的表面低。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的物理量传感器，其特征在于，

具有被固定支承的锚定部、经由所述弹簧部分别与所述锚定部和所述重物部连结成转动自如的支承部，

在所述支承部设置有一对腿部，所述腿部在所述支承部转动而所述重物部沿高度方向变位时朝向所述重物部的变位方向的反方向变位，

在各腿部与所述对置部之间配置有高度不同的多个突起部，所述多个突起部在所述腿部朝向高度方向变位时使一对腿部与所述对置部之间能够阶段性地抵接，且使一对腿部与所述对置部之间能够阶段性地分离。

7.根据权利要求6所述的物理量传感器，其特征在于，

在一方的所述腿部与所述对置部之间配置有高度高的突起部，在另一方的所述腿部与所述对置部之间配置有高度低的突起部。