[发明专利]玻璃薄膜的制造方法及其制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃薄膜的制造方法及其制造装置，尤其涉及还能够将玻璃薄膜卷绕成辊卷状的长条的玻璃薄膜的制造技术。

背景技术

众所周知，近些年的图像显示装置中，代表为液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、场致发射显示器(FED)、有机EL显示器(OLED)等的平板显示器(以下，简称为FPD)成为主流。对于上述的FPD来说，由于轻量化不断推进，因此现状对使用于该FPD的玻璃基板也探索薄板化的一种途径。

另外，例如，有机EL不局限于如显示器那样通过TFT使细微的三原色点亮或熄灭，还可以仅通过单色(例如白色)发光来利用作为LCD的背光灯或屋内照明的光源等平面光源。并且，若为使用了有机EL的照明装置，则只要能够对玻璃基板赋予挠性，就能够使发光面自由地变形。因此，对于使用于此种照明装置的玻璃基板而言，从确保足够的挠性的观点出发，大幅的薄板化(玻璃薄膜化)也被不断推进。

在此，作为被薄板化了的带状的玻璃即所谓的玻璃薄膜的制造方法，例如下述专利文献1中提出有如下技术：通过下拉法、尤其是间隙下拉法，成形出板厚为30μm～2000μm的玻璃薄膜带，将向铅垂下方拉出的玻璃薄膜带朝向水平方向折弯(弯曲)后，利用激光将玻璃薄膜带的两端切掉，接着将玻璃薄膜带切断成规定长度，由此切出规定尺寸的玻璃基板。另外，还记载有如下主旨：若是板厚为30μm～400μm的玻璃薄膜带，则在将其两端切掉后，可以不切断成规定的长度而(通过规定的辊等)将其卷起。

另外，在下述专利文献2中提出有如下技术：将通过所谓的浮式法成形出的板厚小于0.7mm的玻璃薄膜带的宽度方向两端部在熔融锡槽上切断，并将切断后的玻璃薄膜带卷起成辊卷状。

这样，玻璃薄膜带与以往的玻璃基板不同，能够有效利用其优良的挠性而卷绕成辊卷状，例如能够向辊对辊制作方法等的生产方式供给。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2000-335928号公报

【专利文献2】日本特表2002-544104号公报

玻璃薄膜带通过将熔融玻璃成形为薄板状而成，在其粘度比较低的期间，将其进一步延伸而成形为规定的宽度方向尺寸及厚度尺寸。此时，有时在玻璃薄膜带上存在翘曲，或在玻璃薄膜带的宽度方向上产生以大的曲率弯曲的弯曲变形。大多数的情况下，在玻璃薄膜带的成形时，以组合上述的变形的形式表现。并且，上述的变形在将熔融玻璃成形为玻璃薄膜带，直至冷却结束的期间被大致固定化。

在卷绕长条的玻璃薄膜带时，在上述的变形中，尤其是弯曲变形成为问题的情况较多。然而，在产生弯曲变形的长条的玻璃薄膜带中，由于在其宽度方向上以大的曲率产生弯曲变形的状态下被固定化，因此容易以在玻璃薄膜带的宽度方向上错开成所谓的竹笋状的方式卷绕成辊卷状。在此，无法将玻璃薄膜作为玻璃辊卷来提供，从而导致成品率的降低。

为了解决该问题，例如在下述专利文献1中公开有如下技术：通过将监视并调整玻璃薄膜带的弯曲变形程度(也包括弯曲变形的有无)的机构装入玻璃薄膜带的成形装置，以免在玻璃薄膜带上产生弯曲变形。然而，在上述专利文献1所公开的技术中，在玻璃薄膜带被充分或某种程度冷却的部位设置监视该玻璃薄膜带的弯曲变形程度的装置。如上所述，玻璃薄膜带的变形在将熔融玻璃成形为玻璃薄膜带的形状，直至冷却结束的期间产生，并被固定化，因此即使通过监视装置感知到已经冷却的玻璃薄膜带的弯曲变形的产生，而向拉拔辊的变位机构等调整机构实施反馈，也必然性地产生时间的延迟。因此，在到开始上述调整作业的期间，在卷绕了存在弯曲变形的玻璃薄膜带而得到的玻璃薄膜的辊卷体上残留有分散成竹笋状的卷绕部分，从而导致成品率的降低。

另外，如上述专利文献1那样，在对玻璃薄膜带积极地施加矫正力来矫正其弯曲变形的方法中，产生施加矫正力引起的新的形变，从而需要不断进行对该新的形变引起的弯曲变形等变形进行再次矫正的作业。由于玻璃为脆性材料，因此当对玻璃薄膜带连续施加矫正力时，在玻璃薄膜带上蓄积形变，最终可能导致玻璃薄膜带发生破损(断裂)的情况。因此，很难精度良好且稳定地连续进行玻璃薄膜带的卷绕作业，由此进行的徒劳也多。

发明内容

鉴于以上的情况，在本说明书中，精度良好地制造出不会导致成品率的降低，且也没有弯曲变形，并且能够卷绕成辊卷状的玻璃薄膜带为通过本发明应该解决的技术的课题。