[发明专利]双托盘托架单元有效
| 申请号: | 201180005551.1 | 申请日: | 2011-01-05 |
| 公开(公告)号: | CN102939647A | 公开(公告)日: | 2013-02-20 |
| 发明(设计)人: | 陳歡名;張景煌;梁家昭;陳志遠;C·特鲁耶恩斯;E·J·J·M·德布罗克;J·J·D·韦梅伦 | 申请(专利权)人: | 克拉-坦科股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/50;H01L21/304;H01L21/673;B65D85/86 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 朱立鸣 |
| 地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 托盘 托架 单元 | ||
1.一种托盘托架系统,包括:
托盘装载位置,
托盘卸载位置,
四个平行轨道,所述轨道从所述托盘装载位置延伸至所述托盘卸载位置,
托盘托架平台,所述托盘托架平台安装在每个轨道上,且每个托盘托架平台构造成沿着设置有所述托盘托架平台的轨道在所述托盘装载位置和所述托盘卸载位置之间运动,并且每个托盘托架平台包括,
支架,所述支架用于配合所述轨道,
摆臂,所述摆臂附连于所述支架,
保持件,所述保持件附连于所述摆臂,用于选择性地保持和释放托盘,以及
用于使所述摆臂在打开位置和闭合位置之间运动的装置,其中在所述摆臂处于所述闭合位置时,所述保持件将所述托盘保持于托盘水平高度,而在所述摆臂处于所述打开位置时,所述保持件将所述托盘释放并且完全设置在所述托盘水平高度之下,以及
所述托盘托架平台中的两个包括第一托盘托架单元,而所述托盘托架平台中的另两个包括第二托盘托架单元,
其中,在所述第一托盘托架单元处于所述打开位置时,所述第一托盘托架单元能够穿过由处于所述闭合位置的第二托盘托架单元所承载的托盘下方。
2.如权利要求1所述的托盘托架系统,其特征在于,所述第一托盘托架单元的两个轨道与所述第二托盘托架单元的两个轨道相间错杂。
3.如权利要求1所述的托盘托架系统,其特征在于,每个托盘托架单元中的其中一个托盘托架平台大于同一个托盘托架单元中另一个托盘托架平台。
4.如权利要求1所述的托盘托架系统,其特征在于,所述第一托盘托架单元构造成在所述托盘卸载位置将空托盘去除,穿过保持托盘的所述第二托盘托架单元,并在由所述第二托盘托架所保持的托盘被卸空集成电路之前,在所述托盘装载位置处接纳满载托盘。
5.如权利要求1所述的托盘托架系统,其特征在于,所述用于使所述摆臂运动的装置包括气压缸。
6.如权利要求1所述的托盘托架系统,其特征在于,所述用于使所述摆臂运动的装置包括马达。
7.如权利要求1所述的托盘托架系统,其特征在于,还包括弹簧,所述弹簧设置在所述摆臂和所述支架之间,并且构造成在用于使所述摆臂运动的装置失效时将所述保持件保持在所述闭合位置。
8.如权利要求1所述的托盘托架系统,其特征在于,所述保持件包括水平部分和垂直部分,所述水平部分用于支承所述托盘的底部,而所述垂直部分用于使所述托盘与已知位置对准。
9.如权利要求8所述的托盘托架系统,其特征在于,所述垂直部分延伸到所述托盘的顶面上方。
10.如权利要求8所述的托盘托架系统,其特征在于,所述垂直部分没有延伸到所述托盘的顶面上方。
11.如权利要求1所述的托盘托架系统,其特征在于,所述保持件包括凹口,所述凹口用以与所述托盘的底面、侧部以及顶面配合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





