[实用新型]一种气体传感器芯片有效
| 申请号: | 201120538765.2 | 申请日: | 2011-12-15 |
| 公开(公告)号: | CN202421118U | 公开(公告)日: | 2012-09-05 |
| 发明(设计)人: | 陈志平;李肖华;刘海红 | 申请(专利权)人: | 西安威正电子科技有限公司 |
| 主分类号: | G01N27/26 | 分类号: | G01N27/26 |
| 代理公司: | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人: | 贺建斌 |
| 地址: | 710077 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 气体 传感器 芯片 | ||
【权利要求书】:
1.一种气体传感器芯片,包括玻璃基底(1),其特征在于:在玻璃基底(1)上采用微电子工艺加工有加热电极(2)和敏感电极(3),在加热电极(2)和敏感电极(3)上烧结有敏感材料(4)。
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