[实用新型]一种硅片传送机构有效
| 申请号： | 201120348080.1 | 申请日： | 2011-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN202245326U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 吴磊 | 申请（专利权）人： | 浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 214443 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 传送 机构 | ||
1.一种硅片传送机构，其特征在于，包括：连接传送带、至少三个支撑件、至少三个皮带轮，其中，
所述连接传送带由所述皮带轮托起，在所述皮带轮的带动下传送硅片，所述支撑件与所述皮带轮相连，所述支撑件用于支撑所述连接传送带的平衡。
2.根据权利要求1所述的硅片传送机构，其特征在于，所述皮带轮包括第一皮带轮、第二皮带轮、第三皮带轮；
所述支撑件包括共同支撑所述连接传送带平衡的第一支撑件、第二支撑件、第三支撑件；
所述第一皮带轮、所述第二皮带轮、所述第三皮带轮托起所述连接传送带，所述第一皮带轮在转动电机的转动下通过所述连接传送带带动所述第二皮带轮与所述第三皮带轮一起转动，由所述连接传送带传送所述硅片；
所述第一支撑件与所述第一皮带轮相连，所述第二支撑件与所述第二皮带轮相连，所述第三支撑件与所述第三皮带轮相连。
3.根据权利要求1所述的硅片传送机构，其特征在于，所述皮带轮包括第一皮带轮、第二皮带轮、第三皮带轮、第四皮带轮；
所述支撑件包括共同支撑所述连接传送带平衡的第一支撑件、第二支撑件、第三支撑件、第四支撑件；
所述第一皮带轮、所述第二皮带轮、所述第三皮带轮、所述第四皮带轮托起所述连接传送带，所述第一皮带轮在转动电机的转动下通过所述连接传送带带动所述第二皮带轮、所述第三皮带轮、所述第四皮带轮一起转动，由所述连接传送带传送所述硅片；
所述第一支撑件与所述第一皮带轮相连，所述第二支撑件与所述第二皮带轮相连，所述第三支撑件与所述第三皮带轮相连，所述第四支撑件与所述第四皮带轮相连。
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