[实用新型]多晶硅铸锭炉测温装置有效
| 申请号: | 201120333839.9 | 申请日: | 2011-09-07 |
| 公开(公告)号: | CN202247005U | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
| 发明(设计)人: | 朱卫峰;袁华均;傅建根;来迪文;孙力峰 | 申请(专利权)人: | 浙江精功新能源有限公司 |
| 主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 绍兴市越兴专利事务所 33220 | 代理人: | 蒋卫东 |
| 地址: | 312030 浙江省绍兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 多晶 铸锭 测温 装置 | ||
【权利要求书】:
1.多晶硅铸锭炉测温装置,包括热电偶、石墨立柱、热交换台、下炉体凸台、管夹、石墨坩埚底板,其特征在于:在支撑炉体的数根石墨立柱的其中之一沿轴心线打贯通孔,在管孔中设置热电偶,热电偶穿过热交换台的通孔,顶部接触石墨坩埚底板,热电偶底部通过管夹固定在下炉体凸台上,热电偶传递数据的线路从石墨立柱管孔下部接出。
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