[实用新型]一种热丝化学气相沉积设备有效
| 申请号： | 201120275654.7 | 申请日： | 2011-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN202181350U | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 钟建华;张文英 | 申请（专利权）人： | 广州市德百顺电气科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510663 广东省广州市科学*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 沉积 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种热丝化学气相沉积设备，包括沉积腔、样品台和热丝，所述样品台位于所述沉积腔的下部，所述热丝位于所述样品台的正上方，其特征在于，还包括位于所述热丝的正上方的偏压极，所述偏压极与地之间连接有直流电源。
2.根据权利要求1所述的热丝化学气相沉积设备，其特征在于，所述偏压极与热丝之间的距离为2mm～15mm。
3.根据权利要求2所述的热丝化学气相沉积设备，其特征在于，所述热丝由10～30根平行金属丝构成。
4.根据权利要求3所述的热丝化学气相沉积设备，其特征在于，所述金属丝的一端接地，另一端与地之间连接有直流电源。
5.根据权利要求1所述的热丝化学气相沉积设备，其特征在于，所述样品台与地之间连接有直流电源。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广州市德百顺电气科技有限公司，未经广州市德百顺电气科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120275654.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
