[实用新型]平板集热条带卧式镀膜机

权利要求书

1.一种平板集热条带卧式镀膜机，其特征是由放卷室、多个工艺模块室和收卷室三大部分串联组成，工艺段模块室为标准的、具有可互换性的真空箱体。

2.根据权利要求1所述的平板集热条带卧式镀膜机，其特征是放卷室位于本实用新型左端，其一面与镀膜工艺段的第一功能模块室连接，并通过过带窄缝相通，其前面有一个长方型密封门，便于放卷室内各部件安装、维护及卷材的上料，长方型密封门包括门架、电机、减速机、滚轮、轨道、支板和支柱，长方型密封门的顶部通过连接块与门架的底部连接，电机、减速机和滚轮装在门架上，滚轮位于轨道上，并通过减速机与电机联结，轨道的一端通过支板安装在放卷室上，另一端通过支柱坐落在地基上，长方型密封门与放卷室的贴合处有密封圈；放卷室内从左到右依次安装有卷筒、张力控制装置和纠偏机构，卷筒采用斜楔倒拉式胀缩卷筒，用螺纹传动胀缩，胀缩范围Φ480～Φ520mm，胀缩卷筒与真空旋转密封轴为同轴整体结构，通过法兰密封安装在放卷室的后法兰上，真空旋转密封轴的室外端连接附加减速箱，并与带另一减速器的交流同步电机连接，胀缩卷筒与真空旋转密封轴在室外组成一体，从室体后壁法兰孔插入放卷室内，真空旋转密封轴法兰与室体法兰螺栓压紧，胀缩卷筒便呈悬臂辊安装在放卷室的后壁上；收卷室的大小尺寸与放卷室一样，两者左、右对称，不同之处是张力控制装置和纠偏机构左、右顺序对调，收卷室增加一套在线光学性能检测装置。

3.根据权利要求1或2所述的平板集热条带卧式镀膜机，其特征是镀膜工艺段由十个工艺段模块室组成，第一工艺段模块室为离子源刻蚀室，该室底装一个或多个条型离子源；第二工艺段模块室为高真空“阱”——气体隔离室，以消除相邻工艺段模块室的窜气，达到各工艺段模块室的气氛独立控制的要求，相邻工艺段模块室返扩散的气体，通过该室迅速排出，如同气体“陷阱”，确保镀膜质量；第三工艺段模块室为镀膜室，以卷铝带或无氧铜卷带作基材，镀超低发射比高选择性吸收膜，在室体下盖上安装有两个向上溅射的矩形平面磁控溅射靶，或者在室体后壁安装两个磁控溅射圆柱靶，DC溅射电源按靶数配备；第四工艺段模块室与第二工艺段模块室相同；第五、六、七工艺段模块室与第三工艺段模块室相同；在第六工艺段模块室 与第七工艺段模块室之间为机列速度辊室，该室内主要包括前、后导向辊和有动力的速度辊，以保证速度辊有160°-170°包角，获得足够的摩擦力，确保辊速度与带速的一致性，也就是机列速度达到工艺所需的设定线速度；速度辊是电机通过减速机并经室体后壁上的真空旋转密封轴将动力传递给速度辊的，机列速度动力辊稳定控制条带设定行进速度，收、放卷则通过张力控制与机列速度相匹配，行进精度更高质量更有保证；当检测张力大于设定张力时放卷机则加速、收卷机则减速；反之，当检测张力小于设定张力时放卷机则减速、收卷机则加速，以保证条带的行进速度与机列速度动力辊设定的行进速度相一致；第八工艺段模块室与第二工艺段模块室相同；第九、十工艺段模块室与第三工艺段模块室相同。