[实用新型]压强流量控制仪无效

专利信息
申请号: 201120116289.5 申请日: 2011-04-08
公开(公告)号: CN202049399U 公开(公告)日: 2011-11-23
发明(设计)人: 苗丁 申请(专利权)人: 惠州市奥普康真空科技有限公司
主分类号: G05D23/02 分类号: G05D23/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 516000 广东省惠州市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 压强 流量 控制
【权利要求书】:

1.一种压强流量控制仪,其特征是,包括:逻辑运算控制单元、规管、规管放大电路、质量流量计以及显示元件;

所述逻辑运算控制单元与所述质量流量计连接,所述逻辑运算控制单元用于控制流过所述质量流量计内的气体的流量;

所述规管通过规管放大电路与所述逻辑运算控制单元连接,所述规管用于测量真空压强;

所述显示元件与所述逻辑运算控制单元连接,所述显示元件用于显示真空压强值以及质量流量值。

2.如权利要求1所述压强流量控制仪,其特征在于:所述逻辑运算控制单元具有存储器,所述存储器中存储有压强控制值以及流量控制值。

3.如权利要求1所述压强流量控制仪,其特征在于:所述逻辑运算控制单元中具有PID控制模块,所述PID控制模块用于控制流过所述质量流量计内的气体的流量。

4.如权利要求1所述压强流量控制仪,其特征在于:逻辑运算控制单元为微控制器或FPGA芯片或CPLD芯片。

5.如权利要求1所述压强流量控制仪,其特征在于:所述质量流量计通过PWM直流变换电路与所述逻辑运算控制单元连接。

6.如权利要求1所述压强流量控制仪,其特征在于:压强流量控制仪具有分别与所述逻辑运算控制单元连接的键盘和外部控制设备。

7.如权利要求1所述压强流量控制仪,其特征在于:压强流量控制仪还具有与所述逻辑运算控制单元连接的继电器组。 

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