[实用新型]一种提高电沉积复合量的装置

权利要求书

1.一种提高电沉积复合量的装置，包括：电源（13）、作为可溶性阳极的第一相金属极（4）、电镀槽（9）和位于电镀槽（9）中并作为阴极的芯模（2），其特征在于：与所述芯模（2）上表面连接的用于驱动所述芯模自旋的电机（1），用于放置第一相金属极（4）的环形阳极筐（10），此环形阳极筐（10）内侧开有若干通孔，所述芯模（2）由此环形阳极筐（10）包围，若干非导电硬质粒子（3）位于此环形阳极筐（10）内侧与所述芯模（2）之间，所述非导电硬质粒子（3）直径大于所述通孔直径；一尼龙布层（6）外覆于所述环形阳极筐内侧。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述第一相金属极（4）由若干第一相金属饼组成，此第一相金属饼直径大于所述通孔直径。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：还包括：一位于所述芯模（2）下方用于支撑芯模（2）的顶尖（7）。

4.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：还包括：位于芯模（2）下表面的阴极托板（8）。

5.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：还包括：一储液槽（16），第一导流管（21）一端位于所述电镀槽（9）上部，第一导流管（21）另一端连接到所述储液槽（16）底部；

第二导流管（22）一端位于所述储液槽（16）内，第二导流管（22）另一端连接到所述电镀槽（9）底部；

第三导流管（23）一端与所述第一导流管（21）中部导通连接，第三导流管（23）另一端位于所述储液槽（16）内，一位于第一导流管（21）上的磁力泵（17）安装在第三导流管（23）和第一导流管（21）接点与储液槽（16）之间。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于：一加热器（14）位于所述储液槽（16）内，一温控仪（15）连接到此加热器（14）。

7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于：一位于第一导流管（21）上的过滤器（18）安装在第三导流管（23）和第一导流管（21）接点与磁力泵（17）之间，一位于第一导流管（21）上的球阀（20）安装在第三导流管和第一导流管的接点与电镀槽之间，一溢流阀（19）位于第三导流管（23）上。