[实用新型]多晶硅铸锭炉坩埚侧板有效
| 申请号： | 201120072530.9 | 申请日： | 2011-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN202039149U | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 龙礼妹;南志华;李恒文 | 申请（专利权）人： | 石金精密科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅铸锭炉坩埚侧板，包括侧板的板体，其特征在于，所述板体的顶部开设有用于加快冷却气体流通的通槽；所述通槽至少为两个。
2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉坩埚侧板，其特征在于，所述通槽的截面形状至少包括方形、半圆孔形、圆孔形或椭圆形中的一种。
3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉坩埚侧板，其特征在于，所述通槽为两个，均布于所述板体顶部；其宽度为280～380mm，高度为40～100mm。
4.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉坩埚侧板，其特征在于，所述通槽底部设有防止高温下侧板应力裂开的倒角。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的多晶硅铸锭炉坩埚侧板，其特征在于，所述侧板安装于所述多晶硅铸锭炉的坩埚的侧面。
6.根据权利要求5所述的多晶硅铸锭炉坩埚侧板，其特征在于，所述侧板为四块，分别安装于所述坩埚的四面；所述侧板与侧板之间通过碳碳螺栓和螺母固定连接。
7.根据权利要求6所述的多晶硅铸锭炉坩埚侧板，其特征在于，所述侧板的顶部设有防止杂质进入坩埚的盖板。
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