[实用新型]一种传送微波的导线

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池的制造设备，特别是涉及一种用于等离子化学气相沉积设备(PECVD)的传送微波的导线。

背景技术

太阳能电池作为一种再生的环保能源，近年来得到了飞速发展。太阳能电池制造主要依靠三大关键制造装备，即扩散炉，PECVD设备和丝网印刷机。在PECVD设备中包括有微波发生器、石英管、铜导线、微波头、真空腔室和石墨载板等，在铜导线外套有石英管，而石英管、铜导线和石墨载板位于真空腔室内，铜导线的两端通过导管与真空腔室外的两微波发生器相连接，由微波发生器产生微波后，通过铜导线的导向作用将微波发射到真空腔室内部，激发气体形成等离子体。而导线和导管的衔接是否良好，关系到微波泄漏和微波反射率，现有的导线和导管的连接采用的是插接的方式，导线两端加工连接孔，导管端部设有的较细轴段插入导线连接孔中，从而使两者连接。这种导线与导管的连接方式不可靠，导管的较细轴段容易产生弯折，使得导线与导管接触不良，微波反射率偏高，并且微波容易泄漏在连接处产生驻波磨损，同时微波电源也过快消耗，使微波电源和导线需要经常更换。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提出了一种传送微波的导线，它与导管连接可靠，衔接良好，能有效避免微波泄漏，且连接处不易磨损，延长微波电源和导线的使用寿命。

本实用新型的目的是这样实现的：一种传送微波的导线，包括导线本体，导线本体的两端与导管连接，所述导线本体的一端与第一导管固定，另一端与第二导管螺纹连接，所述导线本体的端头部设有外螺纹并通过与第二导管螺纹旋合的方式连接。

本实用新型的导线一端通过螺纹旋合的方式与导管连接，连接可靠衔接良好，能有效避免微波泄漏，且导线连接处不会因驻波氧化而过快磨损，消除了因接触不良而导致的微波反射率偏、电源易损坏的问题，使得导线不再是消耗品，电源使用寿命也得到延长。导线的另一端与导管固定，维护安装更加方便。

进一步地，所述导线本体与第一导管为一体结构。

进一步地，所述导线本体与第一导管焊接固定。

进一步地，所述导线本体与第二导管的旋合端分为螺纹段和锥尾段，锥尾段位于螺纹段的外端。

有益效果：

本实用新型的导线维护安装方便，导线与导管连接可靠衔接良好，能有效避免微波泄漏，且导线连接处不会因驻波氧化而过快磨损，消除了因接触不良而导致的微波反射率偏、电源易损坏的问题，使得导线不再是消耗品，电源使用寿命也得到延长。

附图说明

下面将结合附图对本实用新型作进一步的详细描述：

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1的局部放大图。

具体实施方式

以下将结合附图，对本实用新型的优选实施例进行说明。

参见图1和图2，一种传送微波的导线，包括导线本体1，导线本体1的两端与导管连接，所述导线本体1的一端通过焊接与第一导管2固定，另一端与第二导管3螺纹连接，所述导线本体1的端头部设有外螺纹并通过与第二导管3螺纹旋合的方式连接。当然，导线本体1与第一导管2也可以是一体结构。在导线本体1与第二导管3的旋合端分为螺纹段11和锥尾段12，锥尾段12位于螺纹段11的外端。

导线1一端通过螺纹旋合的方式与第二导管3连接，连接可靠衔接良好，能有效避免微波泄漏，且导线连接处不会因驻波氧化而过快磨损，消除了因接触不良而导致的微波反射率偏、电源易损坏的问题，使得导线不再是消耗品，电源使用寿命也得到延长。而导线1的另一端与第一导管2固定，不但连接可靠，维护安装也更加方便。

以上所述仅为本实用新型的一种实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。