[实用新型]管道加热保温装置有效
| 申请号: | 201120032084.9 | 申请日: | 2011-01-28 |
| 公开(公告)号: | CN201999989U | 公开(公告)日: | 2011-10-05 |
| 发明(设计)人: | 许亮 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
| 代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
| 地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 管道 加热 保温 装置 | ||
1.一种管道加热保温装置,所述管道用于输送气体,其特征在于,所述管道加热保温装置包括保温箱,所述保温箱内设有供所述管道穿越的通道,所述通道的内径和所述管道的外径大小匹配,所述保温箱内还设有加热金属丝,所述加热金属丝设于所述通道的侧边并随通道延伸,所述加热金属丝外接电源。
2.根据权利要求1所述管道加热保温装置,其特征在于:所述保温箱包括上箱体和下箱体,所述上箱体和下箱体固定装配在一起。
3.根据权利要求2所述管道加热保温装置,其特征在于:所述上箱体和下箱体的对接面分别设有对应的沟槽,上箱体和下箱体装配时对应的沟槽组成所述通道。
4.根据权利要求1所述管道加热保温装置,其特征在于:所述保温箱的形状和其内部的通道相匹配。
5.根据权利要求4所述管道加热保温装置,其特征在于:所述通道是“一”字型通道或“十”字型通道或“丁”字型通道或直角转弯型通道中的一个或任意组合。
6.根据权利要求1所述管道加热保温装置,其特征在于:所述保温箱采用硬质保温材料。
7.根据权利要求6所述管道加热保温装置,其特征在于:所述保温箱采用挤塑聚苯板或聚氨酯发泡板。
8.根据权利要求1所述管道加热保温装置,其特征在于:所述保温箱内还设有温度传感器。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





