[发明专利]无线式热气泡式加速仪及其制备方法

权利要求书

1.一种无线式热气泡式加速仪，包含：

一第一绝热基板；

一电路，形成于该第一绝热基板上；

至少一第一加速度感测装置，耦接该电路，且各第一加速度感测装置包含两个第一温度感测元件和设置于该两个第一温度感测元件之间的一第一加热器；以及

一第一支撑层，附着于该第一绝热基板，并支撑所述两个第一温度感测元件及该第一加热器。

2.根据权利要求1所述的无线式热气泡式加速仪，包含两个电路接点及两个第一加速度感测装置，其中位于该两个第一加速度感测装置的第一加热器不同侧的第一温度感测元件，连接在同一该电路接点。

3.根据权利要求2所述的无线式热气泡式加速仪，包含两个第二加速度感测装置，各该第二加速度感测装置包含两个第二温度感测元件，和设置于该两个第二温度感测元件之间的一第二加热器，其中各该第一加速度感测装置的该第一加热器与第一温度感测元件的排列方向垂直于各该第二加速度感测测装置的该第二加热器与第二温度感测元件的排列方向。

4.根据权利要求1所述的无线式热气泡式加速仪，其中该第一绝热基板包含多个接触垫，其中所述多个接触垫排列在该第一绝热基板的一边缘旁，且该两个第一温度感测元件和该第一加热器连接相应的接触垫。

5.根据权利要求1所述的无线式热气泡式加速仪，还包含：

一插座连接器；

多个端子，设置于该插座连接器，且耦接该电路；

一第二绝热基板；

多个接触垫，排列在该第二绝热基板的一边缘旁，其中当该第二绝热基板，插置于该插座连接器，所述多个接触垫接触所述多个端子；以及

至少一第三垂直加速度感测装置，设置于该第二绝热基板，该第三垂直加速度感测装置包含：

两个第三温度感测元件，耦接相应的所述多个接触垫；及

一第三加热器，设置于该两个第三温度感测元件之间，耦接相应的接触垫；及

一第二支撑层，附着该第二绝热基板，并支撑所述两个第三温度感测元件及第三加热器。

6.根据权利要求5所述的无线式热气泡式加速仪，包含两个设置于该第二绝热基板的第三垂直加速度感测装置。

7.根据权利要求1所述的热气泡式加速仪，其中该第一支撑层包含氮化硅及二氧化硅。

8.根据权利要求1所述的无线式热气泡式加速仪，其中该第一绝热基板的材料为聚噻吩、聚对苯二甲酸乙二酯，或聚酰亚胺。

9.根据权利要求1所述的无线式热气泡式加速仪，其中该第一加热器的材料包含镍及铬。

10.根据权利要求1所述的无线式热气泡式加速仪，还包含一天线，形成于该第一支撑层上。

11.根据权利要求1所述的无线式热气泡式加速仪，其中该第一温度感测元件包含P型掺杂多晶硅。

12.根据权利要求1所述的无线式热气泡式加速仪，其还包含一封装盖子及一惰性气体，其中该封装盖子密封该第一加速度感测装置，而该惰性气体在该封装盖子内。

13.根据权利要求1所述的无线式热气泡式加速仪，其中所述两个第一温度感测元件耦接至一控制及放大器，该控制及放大器为一减法放大器或一仪表放大器。

14.根据权利要求1所述的无线式热气泡式加速仪，其中各该第一温度感测元件包含多个交互串联的热电偶。

15.根据权利要求14所述的无线式热气泡式加速仪，其中各该热电偶包含一正极和一负极，该正极包含克铬美合金，该负极包含亚铝美合金。

16.根据权利要求14所述的无线式热气泡式加速仪，其还包含一封装盖子，该封装盖子密封该第一加速度感测装置，其中各该热电偶有一半热电偶位于该封装盖子外，作为环境温度感测补偿器。

17.根据权利要求1所述的无线式热气泡式加速仪，其还包含两个环境温度感测补偿器，其中该两个环境温度感测补偿器与该两个第一温度感测元件分别形成交互串联。

18.一种多轴向无线式热气泡式加速仪的制备方法，包含下列步骤：

在一绝热基板上，形成一支撑层；

在该支撑层上，形成两个温度感测元件；以及

在该支撑层上与该两个温度感测元件之间，形成一加热器。