[发明专利]一种晶棒粘棒用清洗液及使用该清洗液的粘棒工艺

说明书

技术领域

本发明涉及一种晶棒粘棒用清洗液及使用该清洗液的粘棒工艺。

背景技术

在硅片加工工艺中，晶棒进行磨面、倒角加工后，一些微小硅粉等颗粒和人工搬运造成的油污会黏附于晶棒表面，通过普通的清洗工艺很难达到完全去除的目的；且清洗后的晶棒在待粘棒之前暴露于空气中，空气中的粉尘等杂质颗粒会黏附在晶棒表面。同时，粘棒所用玻璃板通过普通超声清洗工艺也很难去除其表面上黏附的杂质颗粒与油污，这些因素的存在会导致晶棒与玻璃板之间附着力的降低，造成硅片在切割过程中出现脱胶掉棒等生产事故，降低硅片合格率，增加生产成本。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种晶棒粘棒用清洗液及使用该清洗液的粘棒工艺，提高粘棒质量。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种晶棒粘棒用清洗液，清洗液为水溶性聚合物，配比为：羟乙基纤维素∶丙二胺四乙酸∶去离子水＝(0.1％-1.6％)∶(1％-6％)∶(92.4％-98.9％)。

优化地，羟乙基纤维素∶丙二胺四乙酸∶去离子水＝1.2％∶5％∶93.8％。

一种晶棒粘棒工艺，包括下列步骤：

第一步、晶棒前处理；

第二步、晶棒清洗：将前处理的晶棒置于超声机中超声清洗，清洗液为水溶性聚合物，配比∶羟乙基纤维素∶丙二胺四乙酸∶去离子水＝(0.1％-1.6％)∶(1％-6％)∶(92.4％-98.9％)，超声频率：20-100kHZ，超声时间：1-20min，温度：室温；

第三步、漂洗：将清洗后的晶棒用去离子水漂洗后氮气吹干；

第四步、玻璃板清洗：将玻璃板置于超声机中超声清洗，清洗液为水溶性聚合物，配比：羟乙基纤维素∶丙二胺四乙酸∶去离子水＝(0.1％-1.6％)∶(1％-6％)∶(92.4％-98.9％)，超声频率：20-100kHZ，超声时间：1-20min，温度：室温；

第五步、漂洗：将清洗后的玻璃板用去离子水漂洗后用氮气吹干；

第六步、粘棒：将粘棒胶均匀涂于晶棒的一个侧面，进行粘棒，固化时间为5-72h。

本发明的有益效果是：通过本发明的清洗液清洗的晶棒和玻璃板能确保去除黏附在晶棒与玻璃板表面的油污和微小硅粉等杂质颗粒，同时确保清洗后晶棒表面具有良好的润湿性能，降低空气中粉尘等杂质颗粒在晶棒表面的黏附力，改善晶棒和玻璃板表面的洁净度，增加晶棒与玻璃板之间的附着力，从而降低硅片切割过程中的脱胶掉棒现象，提高切片收益率，降低成本。

具体实施方式

一种晶棒粘棒用清洗液，其特征是：所述的清洗液为水溶性聚合物，配比为：羟乙基纤维素∶丙二胺四乙酸∶去离子水＝(0.1％-1.6％)∶(1％-6％)∶(92.4％-98.9％)。

一种使用该清洗液的粘棒工艺，包括下列步骤：

第一步、前处理：将截断晶棒进行磨面、倒角加工。

第二步、晶棒清洗：将上述晶棒置于超声机中超声清洗。清洗液为水溶性聚合物，配比：羟乙基纤维素∶丙二胺四乙酸∶去离子水＝(0.1％-1.6％)∶(1％-6％)∶(92.4％-98.9％)，超声频率：20-100kHZ，超声时间：1-20min，温度：室温。

第三步、漂洗：将清洗后的晶棒用去离子水漂洗后氮气吹干。

第四步、玻璃板清洗：将玻璃板置于超声机中超声清洗。清洗液为水溶性聚合物，配比：羟乙基纤维素∶丙二胺四乙酸∶去离子水＝(0.1％-1.6％)∶(1％-6％)∶(92.4％-98.9％)，超声频率：20-100kHZ，超声时间：1-20min，温度：室温。

第五步、漂洗：将清洗后的玻璃板用去离子水漂洗后用氮气吹干。

第六步、粘棒：将粘棒胶均匀涂于晶棒的一个侧面，进行粘棒，固化时间为5-72h。

以采用尺寸为200mm×156mm，电阻率为0.5-3.0ohm-cm的P型多晶硅硅棒为例，采用本发明方法处理：

第一步、前处理：将截断晶棒进行磨面、倒角加工。

第二步、晶棒清洗：将上述晶棒置于超声机中超声清洗。清洗液为水溶性聚合物，配比：羟乙基纤维素∶丙二胺四乙酸∶去离子水＝1.2％∶5％∶93.8％，超声频率：80kHZ，超声时间：10min，温度：25℃。

第三步、漂洗：将清洗后的晶棒用去离子水漂洗后用氮气吹干。

第四步、玻璃板清洗：将玻璃板置于超声机中超声清洗。清洗液为水溶性聚合物，配比：羟乙基纤维素∶丙二胺四乙酸∶去离子水＝1.2％∶5％∶93.8％，超声频率：80kHZ，超声时间：10min，温度：25℃。