[发明专利]具自转及公转复合式真空溅镀设备

权利要求书

1.一种具自转及公转复合式真空溅镀设备，其特征在于，所述具自转及公转复合式真空溅镀设备包含：

一腔体，其具有一能形成真空的内部空间；

一滚筒，其设于所述腔体的内部空间内；

多个治具，其皆设于所述滚筒内，且环绕排列于所述滚筒的轴心外；

至少一靶台，其设于所述滚筒内，所述靶台上设有至少一靶源；以及

一使各所述治具自转并相对所述靶台的靶源公转的动力装置。

2.如权利要求1所述的具自转及公转复合式真空溅镀设备，其特征在于，所述动力装置包含有一动力源及一传动机构，其动力源连接并驱动所述传动机构，所述传动机构连接并驱动各所述治具，并使各所述治具能相对所述靶台的靶源公转，并且于公转时，各所述治具同时自转。

3.如权利要求2所述的具自转及公转复合式真空溅镀设备，其特征在于，所述动力装置的传动机构包含有一中心齿轮及多个环绕齿轮，所述中心齿轮固设于所述滚筒的轴向底面；所述环绕齿轮枢设于所述滚筒的轴向底面，且环绕并啮合于所述中心齿轮，所述治具固设于相对应的所述环绕齿轮轴心；所述动力源驱动所述中心齿轮转动。

4.如权利要求3所述的具自转及公转复合式真空溅镀设备，其特征在于，各所述治具包含有一主杆及多个固定件，所述主杆端部固设于相对应的所述环绕齿轮轴心，各所述固定件间隔设置于所述主杆上。

5.如权利要求4所述的具自转及公转复合式真空溅镀设备，其特征在于，各所述固定件包含有一直杆、多个横杆及一固定杆；所述直杆设于该主杆上；各所述横杆一端间隔设置于所述直杆上；所述固定杆装设于各所述横杆上，且位于所述横杆的另一端。

6.如权利要求1至5中任一项所述的具自转及公转复合式真空溅镀设备，其特征在于，所述腔体进一步具有一轴向的开口；另包含一门体，该门体能分离地盖设于该腔体的轴向开口，该靶台的一端连接该门体。

7.如权利要求1至5中任一项所述的具自转及公转复合式真空溅镀设备，其特征在于，该具自转及公转复合式真空溅镀设备具有两靶台，两所述靶台的夹角小于180度。

8.如权利要求6所述的具自转及公转复合式真空溅镀设备，其特征在于，该具自转及公转复合式真空溅镀设备具有两靶台，两所述靶台的夹角小于180度。