[发明专利]用于清洗和干燥晶圆盒的装置及方法

权利要求书

1.一种用于清洗和干燥晶圆盒的装置，包括清洗腔、用于支撑若干晶圆盒的支架、外接清洗液源的清洗液喷管、排液管路及排气管路，所述排液管路及所述排气管路分别连接于所述清洗腔的底部，所述支架与清洗液喷管设于所述清洗腔内，其特征在于，所述用于清洗和干燥晶圆盒的装置还包括外接干燥气源的干燥气体喷管，所述干燥气体喷管设于所述清洗腔内。

2.根据权利要求1所述的用于清洗和干燥晶圆盒的装置，其特征在于，所述用于清洗和干燥晶圆盒的装置还包括加热管，所述支架内设有用于容置所述加热管的通孔，所述加热管的上端固定于所述清洗腔的顶部。

3.根据权利要求2所述的用于清洗和干燥晶圆盒的装置，其特征在于，所述用于清洗和干燥晶圆盒的装置还包括驱动电机，所述驱动电机带动所述支架转动。

4.根据权利要求3所述的用于清洗和干燥晶圆盒的装置，其特征在于，所述用于清洗和干燥晶圆盒的装置还包括保护罩，所述保护罩位于所述通孔内且固定设置于所述加热管外侧。

5.根据权利要求1所述的用于清洗和干燥晶圆盒的装置，其特征在于，所述清洗液喷管与所述干燥气体喷管的数量分别是两根，所述清洗液喷管与所述干燥气体喷管等距离间隔设置于所述清洗腔的内壁。

6.根据权利要求5所述的用于清洗和干燥晶圆盒的装置，其特征在于，所述清洗液喷管竖向设置，且所述清洗液喷管沿竖向均匀设有一排第一喷射口，所述干燥气体喷管竖向设置，且所述干燥气体喷管分别沿竖向均匀设有一排第二喷射口。

7.根据权利要求1所述的用于清洗和干燥晶圆盒的装置，其特征在于，所述清洗腔的底部设有排气孔，所述清洗腔经所述排气孔与所述排气管路连接。

8.根据权利要求7所述的用于清洗和干燥晶圆盒的装置，其特征在于，所述用于清洗和干燥晶圆盒的装置还包括挡液板，所述挡液板设置于所述清洗腔的底部且环绕设于所述排气孔的四周，所述挡液板向所述排气孔方向倾斜。

9.根据权利要求1所述的用于清洗和干燥晶圆盒的装置，其特征在于，所述清洗液源与所述清洗液喷管之间的连接管路上依次设有第一气动阀与第一流量计。

10.根据权利要求1～9中任意一项所述的用于清洗和干燥晶圆盒的装置，其特征在于，所述干燥气源与所述干燥气体喷管之间的连接管路上依次设有第二气动阀、第二过滤器与第二流量计。

11.根据权利要求10所述的用于清洗和干燥晶圆盒的装置，其特征在于，所述第二流量计与所述干燥气体喷管的连接管路上设有一条外接氮气源的氮气支路，所述氮气支路上设有第三气动阀、第三过滤器与第三流量计。

12.一种用于清洗和干燥晶圆盒的方法，所述晶圆盒放置于清洗腔内，其特征在于，包括如下步骤：

开启清洗液一段时间，向清洗腔喷射清洗液；

关闭清洗液后，开启干燥气体一段时间，向清洗腔充入干燥气体以干燥清洗腔；

关闭干燥气体。

13.根据权利要求12所述的用于清洗和干燥晶圆盒的方法，其特征在于，在关闭清洗液后且在开启干燥气体前，先对清洗腔进行加热一段时间，以烘干清洗腔。

14.根据权利要求13所述的用于清洗和干燥晶圆盒的方法，其特征在于，在对清洗腔进行加热一段时间后且在开启干燥气体前，先开启氮气一段时间，向清洗腔充入氮气以驱赶超纯水水汽。

15.根据权利要求12～14中任意一项所述的用于清洗和干燥晶圆盒的方法，其特征在于，在开启干燥气体一段时间后，关闭干燥气体，再开启氮气一段时间，向清洗腔充入氮气以驱赶干燥气体。