[发明专利]一种压电薄膜力传感器

权利要求书

1.一种压电薄膜力传感器，其特征在于，包括上盖（1）、下盖（2）、密封圈（3）、力敏元件（4）、导线（5）、密封圈槽（6）、导线孔（7）、预紧螺钉（22）组成，上盖下表面（h）上开有圆环形上盖凹槽（20），下盖上表面（g）上有圆环形凸台（13），凸台上表面（b）上放置一组圆环形力敏元件（4），上盖（1）与下盖（2）通过上盖凹槽（20）和凸台（13）配合，力敏元件（4）的上表面与上盖凹槽下表面（a）接触，力敏元件（4）下表面与凸台上表面（b）接触，上盖下表面（h）与下盖上表面（g）不接触，在定位凸台上表面(d)上开有一个密封圈槽（6），其内放置有密封圈（3），密封圈（3）与定位凸台上表面(d)和定位凹槽下表面（c）接触，在下盖侧表面（m）开有配合使用的导线孔（7），通过安装孔（15）、（18）将上盖（1）、力敏元件（4）、下盖（2）、密封圈（3），用一组预紧螺钉（22）安装在一起。

2.根据权利要求1所述压电薄膜力传感器，其特征是：所述安装孔（15）（18）分别为同圆均布的螺纹孔，所述上盖（1）上还设置有上盖定位孔（8），所述下盖（2）上设置有下盖定位孔（10）和安装固定阶梯孔（9）。

3.根据权利要求1所述压电薄膜力传感器，其特征是：所述力敏元件（4）由保护膜（24）（24′）、压电薄膜（23）、电极（16）（16′）和力敏元件引线（17）组成，压电薄膜（23）表面贴有电极（16）（16′），通过力敏元件引线（17）经所述导线（5）经导线孔（7）引出体外。

4.根据权利要求1所述压电薄膜力传感器，其特征是：所述上盖（1）和下盖（2）上分别设置有配合使用的下盖导线槽（11）和上盖导线槽（12）。

5.根据权利要求3所述压电薄膜力传感器，其特征是：所述的电极（16）（16′）采用金属箔。

6.根据权利要求1－5之一所述压电薄膜力传感器，其特征是：所述预紧螺钉（22）为4个。

7.根据权利要求1－5之一所述压电薄膜力传感器，其特征是：所述下盖（2）下表面上还设置有预紧螺钉阶梯孔（19）。