[发明专利]一种空心石墨模具及其应用

权利要求书

1.一种空心石墨模具，其特征在于，该石墨模具为空心结构，包括模具杯体和模具盘盖，所述的模具杯体的杯口内壁上设有螺纹，所述模具盖盘的外壁上设有螺纹，所述杯口内壁上的螺纹与所述模具盖盘外壁上的螺纹相匹配，所述模具杯体与模具盘盖通过螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种空心石墨模具，其特征在于，所述的模具盘盖上固定有石墨螺丝。

3.根据权利要求2所述的一种空心石墨模具，其特征在于，所述的模具盘盖上轴向设置有通孔，所述通孔的内壁上设置有螺纹，所述石墨螺丝通过通孔内壁上的螺纹与模具盘盖固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种空心石墨模具，其特征在于，所述模具杯体的外形轮廓为底面边缘为圆弧形的圆柱体。

5.一种如权利要求1-4任意一项所述空心石墨模具的应用，其特征在于，所述空心石墨模具作为生产氮化硼坩埚的模具：将该空心石墨模具安装在气相沉积炉内的旋转盘上，利用化学气相沉积法制备氮化硼坩埚。