[发明专利]一种激光间接冲击软模微成形方法及其专用装置

权利要求书

1.一种激光间接冲击软模微成形方法，其特征是包括如下步骤：

1）由计算机（11）控制纳秒激光器（8）发出脉冲激光，激光经两反射镜和聚焦透镜后作用于成形系统（4），同时由计算机（11）控制三维移动平台（2）调整成形系统（4）的位置；

2）激光通过成形系统（4）的光学介质（12）辐照在飞片（14）上表面上，引起部分飞片（14）的烧蚀并产生高温高压等离子体，等离子体继续吸收激光能量使得等离子体膨胀爆炸向飞片（14）方向喷溅，驱动剩余飞片（14）飞行一段距离后与弹性材料软模（16）碰撞，使弹性材料软模（16）发生形变；

3）弹性材料软模（16）将形变力作用在靶材工件（17）上，使靶材工件（17）在弹性材料软模（16）及特置微模具（18）的限制下发生塑性变形。

2.一种实现权利要求1所述软模微成形方法的专用装置，由激光加载系统、成形系统、控制系统组成，激光加载系统包括纳秒激光器（8）、第一、第二反射镜（7、6）和聚焦透镜（5），成形系统包括试样系统（4）、夹具体（3）、三维移动平台（2）以及L型底座（1），试样系统（4）设置在聚焦透镜（5）的正下方且放置在夹具体（3）中，夹具体（3）固接三维移动平台（2）上，三维移动平台（2）放置在L型底座（1）上；控制系统包括连接纳秒激光器（8）的激光控制器（9）、连接三维移动平台（2）的三维移动平台控制器 （10）和计算机（11），其特征是：所述试样系统（4）由光学介质（12）、水或硅油（130、飞片（14）、飞行腔（15）、弹性材料软模（16）、靶材工件（17）和特置模具（18）组成；从上至下依次是光学介质（12）、飞行腔（15）、靶材工件（17）和特置模具（18）；飞片（14）设置在飞行腔（15）的内腔上部，飞片（14）的上表面涂抹有一层水或硅油（13）且贴于光学介质（12）的下表面上，弹性材料软模（16）设置在飞行腔（15）的内腔下部且与飞片（14）之间具有一段距离并与靶材工件（17）的上表面贴近，靶材工件（17）下表面与固定在夹具体（3）中的特置微模具（18）相接触。

3.根据权利要求2所述的专用装置，其特征是：弹性材料软模（16）的材料是聚氨酯橡胶，飞片（14）为金属箔板，光学介质（12）的材料是K9玻璃。