[发明专利]闪烁器-光传感器夹层及其制造方法以及辐射检测器有效
| 申请号: | 201110383817.8 | 申请日: | 2011-11-28 |
| 公开(公告)号: | CN102590849A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
| 发明(设计)人: | M.福克斯;K.洛瓦克;A.普雷斯勒 | 申请(专利权)人: | 西门子公司 |
| 主分类号: | G01T1/20 | 分类号: | G01T1/20;H01L31/0232;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 谢强 |
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 闪烁 传感器 夹层 及其 制造 方法 以及 辐射 检测器 | ||
1.一种使用在用于离子辐射的像素分辨的辐射检测器内的闪烁器-光传感器夹层(8)的制造方法,其中,将闪烁器层和光传感器层交替地用作第一功能层(3)和第二功能层(7),所述方法具有如下方法步骤:
1.1在至少单侧地以第二保护薄膜(1.3)覆盖的粘合剂层(1.2)的侧面上,将第一支架(2)粘在所述粘合剂层(1.2)上,其中,所述第一支架(2)的大小在平面内包围了待制造的闪烁器-光传感器夹层(8),
1.2将该第一支架(2)置于平面地支承了第一功能层(3)的底座(9)上,
1.3将在该第一支架(2)上绷紧的该粘合剂层(1.2)和所述第一功能层(3)平面连结,
1.4从该粘合剂层(1.2)揭去所述第二保护薄膜(1.3),
1.5将所述第二功能层(7)与所述第一功能层(3)通过位于其间的粘合剂层(1.2)连结。
2.根据前述权利要求1所述的制造方法,其特征在于,在粘上所述第一支架(2)前,从所述粘合剂层(1.2)揭去第一保护薄膜(1.1)。
3.根据前述权利要求1至2中任一项所述的制造方法,其特征在于,所述粘合剂层(1.2)与所述第一功能层(3)的平面连结通过第二保护薄膜(1.3)与位于其下方的粘合剂层(1.2)的滚压或刮铺来实施。
4.根据前述权利要求1至2中任一项所述的制造方法,其特征在于,所述粘合剂层(1.2)与所述第一功能层(3)的平面连结在真空下进行,至少在该粘合剂层(1.2)和该第一功能层(3)之间的区域内在真空下进行。
5.根据前述权利要求4所述的制造方法,其特征在于,以其自由侧将所述第一支架(2)置于底座(9)的密封的表面上并且位于所述第一功能层(3)的上方,使得所述粘合剂层(1.2)不接触该第一功能层(3),其中形成了封闭的空间,并且然后在该第一支架(2)下方产生真空。
6.根据前述权利要求5所述的制造方法,其特征在于,通过经所述底座(9)的表面内在所述封闭空间的区域内的开口(4)抽取空气来产生真空。
7.根据前述权利要求5所述的制造方法,其特征在于,通过使所述支架(2)自身连接在产生真空的设备上来产生真空。
8.根据前述权利要求1至7中一项所述的制造方法,其特征在于,在从所述粘合剂层(1.2)揭去所述第二保护薄膜(1.3)后,与所述第一支架(2)相对地,在该粘合剂层(1.2)的现在被释放的自由侧面上在该粘合剂层(1.2)上粘上第二支架(6)。
9.根据前述权利要求8所述的制造方法,其特征在于,以其自由侧将所述第二支架(6)置于底座(9)的密封表面上并且位于第二功能层(7)的上方,使得所述粘合剂层(1.2)不接触所述第二功能层(7),其中形成新的封闭的空间,并且然后在新的封闭空间内产生真空。
10.根据前述权利要求9所述的制造方法,其特征在于,通过从封闭空间抽出空气来产生所述真空。
11.根据前述权利要求1至10中任一项所述的制造方法,其特征在于,在粘合所述功能层(3,7)之后,将所述支架(2,6)连同突出的粘合剂层一起从所述闪烁器-光传感器夹层(8)分离。
12.根据前述权利要求1至11中任一项所述的制造方法,其特征在于,使用在其平面延伸上的投影中全等的支架(2,6)。
13.根据前述权利要求1至12中任一项所述的制造方法,其特征在于,使用构造为在其平面延伸上的投影中是矩形或正方形的支架(2,6)。
14.根据前述权利要求1至12中任一项所述的制造方法,其特征在于,使用构造为在其平面延伸上的投影中是椭圆形或圆形的支架(2,6)。
15.根据前述权利要求1至12中任一项所述的制造方法,其特征在于,使用在其高度上至少部分地为弹性的或屈服的至少一个支架(2,6),使得位于其上的粘合剂层(1.2)在施加真空时自动施加到待粘合的功能层(3,7)上。
16.一种闪烁器-光传感器夹层,其特征在于,所述闪烁器-光传感器夹层根据前述权利要求中任一项所述的制造方法被制造。
17.一种使用在用于成像检查方法的离子辐射中的辐射检测器,其特征在于,所述辐射检测器带有至少一个根据前述权利要求所述的闪烁器-光传感器夹层。
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