[发明专利]基于镜面成像显微拍摄技术的球面缺陷的检测装置

权利要求书

1.一种基于镜面成像显微拍摄技术的球面缺陷的检测装置，其特征在于：该检测装置包括自上至下顺序同轴线设置的CCD摄像机（2）、显微拍摄系统（1）、标准物（3）、显微物镜（5）、被检测球面（4）、载物平台（6）；所述的显微拍摄系统（1）的目镜处设有CCD摄像机（2）用于采集图片。

2.根据权利要求1所述的基于镜面成像显微拍摄技术的球面缺陷的检测装置，其特征在于所述的标准物（3）为由一组发光叉丝或发光点构成的环状发光物，并与显微物镜（5）同轴放置，能上下调节位置以控制成像的大小。

3.根据权利要求1所述的基于镜面成像显微拍摄技术的球面缺陷的检测装置，其特征在于所述的被检测球面（4）为凸起球面、凹面、平面或非球面。

4.一种如权利要求1所述的基于镜面成像显微拍摄技术的球面缺陷的检测装置的检测方法，其特征在于使用镜面成像对缺陷放大-显微技术进一步放大的方案进行缺陷检测；通过置于载物平台（6）上被检测球面（4）的反射图像，经显微拍摄系统（1）放大并被CCD摄像机（2）获得后送入计算机储存；在被检测球冠面上的任何细微缺陷，都会使该反射图像发生较大畸变，经显微拍摄技术进一步放大后获取的图像被计算机采集、储存并与标准球面所成的无缺陷图像进行自动比对和分析，便可检测到被测球面缺陷的大小和类型。