[发明专利]具有导电通孔的基板的制法有效

专利信息
申请号: 201110379088.9 申请日: 2011-11-18
公开(公告)号: CN103052280A 公开(公告)日: 2013-04-17
发明(设计)人: 魏石龙;萧胜利;何键宏 申请(专利权)人: 光颉科技股份有限公司
主分类号: H05K3/42 分类号: H05K3/42
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 梁挥;常大军
地址: 中国台湾新竹县湖*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 具有 导电 制法
【权利要求书】:

1.一种具有导电通孔的基板的制法,其特征在于,包括:

于一基板本体的相对两表面上形成离型膜;

形成贯穿该离型膜与该基板本体的通孔;

于该离型膜与该通孔的侧壁上形成第一金属层;

移除该离型膜与其上的第一金属层;以及

利用化学镀方式于该通孔的侧壁的第一金属层上形成第二金属层。

2.根据权利要求1所述的具有导电通孔的基板的制法,其特征在于,该制法还包括于该基板本体上形成电性连接该第二金属层的图案化金属层的步骤。

3.根据权利要求1所述的具有导电通孔的基板的制法,其特征在于,于该通孔的侧壁的第一金属层上形成第二金属层的步骤还包括令该第二金属层填满或不填满该通孔。

4.根据权利要求3所述的具有导电通孔的基板的制法,其特征在于,若该第二金属层未填满该通孔,于该基板本体上形成电性连接该第二金属层的图案化金属层的步骤还包括令该图案化金属层填满该通孔。

5.根据权利要求1所述的具有导电通孔的基板的制法,其特征在于,形成该离型膜的方式为贴附、涂布或喷涂。

6.根据权利要求1所述的具有导电通孔的基板的制法,其特征在于,形成该通孔的方式为激光钻孔或蚀刻。

7.根据权利要求1所述的具有导电通孔的基板的制法,其特征在于,形成该第一金属层的方式为溅镀、蒸镀、化学镀或化学气相沉积。

8.根据权利要求1所述的具有导电通孔的基板的制法,其特征在于,该第一金属层的材质为活化钯、镍或铜。

9.根据权利要求1所述的具有导电通孔的基板的制法,其特征在于,移除该离型膜的方式为撕离、烧结或化学液溶解。

10.根据权利要求1所述的具有导电通孔的基板的制法,其特征在于,该第二金属层的材质为镍。

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