[发明专利]玻璃微针热电偶的制备方法

权利要求书

1.一种玻璃微针热电偶的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

第一步、在玻璃微针表面沉积一层聚合物薄膜；

第二步、将玻璃微针放入高温环境裂解，在玻璃微针上生成一层碳薄膜；

第三步、往玻璃微针中注入金属液体并冷却；

第四步、将玻璃微针尖端磨制出角度；

第五步、玻璃微针尖端沉积一层金属薄膜，形成热电偶热端接合点，得到最终所需要的玻璃微针热电偶。

2.根据权利要求1所述的玻璃微针热电偶的制备方法，其特征是，所述的玻璃微针为石英玻璃微针。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃微针热电偶的制备方法，其特征是，所述的玻璃微针尖端尺寸为微米到纳米级。

4.根据权利要求1所述的玻璃微针热电偶的制备方法，其特征是，所述的沉积是化学气相沉积。

5.根据权利要求1所述的玻璃微针热电偶的制备方法，其特征是，所述的高温裂解是指将聚合物薄膜放入充满保护气氛的裂解炉中，以150～1400℃温度加热0.5～6小时。

6.根据权利要求1或5所述的玻璃微针热电偶的制备方法，其特征是，所述的聚合物薄膜厚度为微米到纳米级。

7.根据权利要求1所述的玻璃微针热电偶的制备方法，其特征是，所述的金属液体为低熔点生物相容性金属及其合金。

8.根据权利要求1所述的玻璃微针热电偶的制备方法，其特征是，所述的磨制是在磨针仪下将玻璃微针尖端磨制出所需角度。

9.根据权利要求1所述的玻璃微针热电偶的制备方法，其特征是，所述的金属薄膜为生物相容性金属，厚度为微米到纳米级。