[发明专利]纳米级微拉伸装置

权利要求书

1.一种纳米级微拉伸装置，其特征在于所述装置还包括底板(1)、支撑板(2)、动载物台(3)、柔性铰链(4)、压电陶瓷座(5)、顶球(6)、锥孔螺钉(7)、压电陶瓷(8)、压电陶瓷连接帽(9)、L形盖板(10)、预紧螺帽(12)、静载物台(13)、三维位移台(14)和两个两个载物片(11)，底板(1)上分别装有支撑板(2)和三维位移台(14)，支撑板(2)上分别装有柔性铰链(4)和L形盖板(10)，动载物台(3)为L形，L形动载物台(3)的水平段竖直设置且与柔性铰链(4)的侧壁连接，三维位移台(14)的Z向调整螺杆与静载物台(13)连接，动载物台(3)和静载物台(13)上均装有两个载物片(11)，压电陶瓷座(5)固装在L形盖板(10)的竖直段上，压电陶瓷(8)设在压电陶瓷座(5)内，压电陶瓷(8)底部与锥孔螺钉(7)连接，压电陶瓷座(5)设有锥槽(5-1)，锥孔螺钉(7)的头部设有锥孔(7-1)，顶球(6)设在锥孔螺钉(7)的锥孔(7-1)与压电陶瓷座(5)的锥槽(5-1)之间，压电陶瓷(8)的顶部与压电陶瓷连接帽(9)连接，预紧螺帽(12)穿过L形盖板(10)的竖直段与压电陶瓷连接帽(9)对应设置，每个两个载物片(11)上设有凹槽(11-1)、螺纹孔(11-2)和多个沉头孔(11-3)，凹槽(11-1)和螺纹孔(11-2)相通，，三维位移台(14)的Y向螺杆调整静载物台(13)和动载物台(3)对中，三维位移台(14)的X向螺杆根据试样长度调整静载物台(13)与动载物台(3)之间X向的距离。

2.根据权利要求1所述纳米级微拉伸装置，其特征在于柔性铰链(4)由第一连接梁(15)、三个U形铰链(16)、两个第二连接梁(17)和两个第一铰链单元(18-1)构成，每个U形铰链(16)包括底梁(16-1)、两个侧梁(16-2)和四个第二铰链单元(18-2)，底梁(16-1)通过一个第二铰链单元(18-2)与相应的侧梁(16-2)的一端连接，每个侧梁(16-2)的另一端与第二铰链单元(18-2)连接且该第二铰链单元(18-2)各与剩余的U形铰链(16)的底梁(16-1)连接，三个U形铰链(16)呈品字形设置，位于左侧的两个U形铰链(16)各与一个第二连接梁(17)连接，每个第二连接梁(17)的中部通过一个第一铰链单元(18-1)均与第一连接梁(15)连接。