[发明专利]液晶显示器阵列基板及制造方法有效
| 申请号: | 201110294949.3 | 申请日: | 2011-09-29 |
| 公开(公告)号: | CN102681274A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
| 发明(设计)人: | 马新利 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/1368;G02F1/1343;H01L27/02;H01L21/77 |
| 代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
| 地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 液晶显示器 阵列 制造 方法 | ||
1.一种液晶显示器阵列基板,包括基板,形成于基板上的交错设置的数据线和栅极扫描线,其特征在于,
在所述数据线和栅极扫描线交错区域处,所述数据线和栅极扫描线的其中之一断开而使两断头处于相应栅极扫描线或数据线的两侧,在所述数据线或栅极扫描线断开处的上方设置有一跨接所述数据线或栅极扫描线的导线,且所述导线与数据线或栅极扫描线之间设有一绝缘层和一保护层,所述导线通过穿过保护层的过孔连接断开的数据线或栅极扫描线。
2.根据权利要求1所述液晶显示器阵列基板,其特征在于,所述液晶显示器阵列基板还包括像素电极,所述导线与像素电极材料相同。
3.根据权利要求2所述液晶显示器阵列基板,其特征在于,所述导线与像素电极材料为氧化铟锡、氧化铟锌层或氧化铟镓锌层。
4.根据权利要求1所述液晶显示器阵列基板,其特征在于,所述数据线和所述栅极扫描线处于同一金属层。
5.根据权利要求1所述液晶显示器阵列基板,其特征在于,所述数据线所在金属层在所述栅极扫描线所在金属层之上。
6.根据权利要求1所述液晶显示器阵列基板,其特征在于,所述栅极扫描线所在金属层在所述数据线所在金属层之上。
7.一种权利要求1所述的液晶显示器阵列基板的制造方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1、在基板上形成金属薄膜,通过光刻工艺和刻蚀工艺形成栅极扫描线或数据线;
步骤2、在完成步骤1的基板上形成绝缘层;
步骤3、在完成步骤2的基板上形成金属层,再通过光刻工艺和刻蚀工艺在所述栅极扫描线或数据线的正上方以外的区域形成数据线或栅极扫描线;
步骤4、在完成步骤3的基板上形成保护材料层,再通过光刻工艺在数据线或栅极扫描线的上方形成带有过孔的保护层,露出数据线或栅极扫描线;
步骤5、在完成步骤4的基板上形成导电层,该导电层通过步骤4中形成的两处过孔连接处于所述数据线或栅极扫描线两侧的栅极扫描线或数据线,再利用光刻工艺使导电层形成导线。
8.根据权利要求7所述的液晶显示器阵列基板的制造方法,其特征在于,所述利用光刻工艺使导电层形成导线的同时,形成像素电极。
9.根据权利要求7所述的液晶显示器阵列基板的制造方法,其特征在于,所述导电层为氧化铟锡、氧化铟锌或氧化铟镓锌层。
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