[发明专利]散热元件及散热元件的处理方法有效
申请号: | 201110285682.1 | 申请日: | 2011-09-23 |
公开(公告)号: | CN102479915A | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
发明(设计)人: | 王正全;颜佳莹;陈兴华 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01L33/64 | 分类号: | H01L33/64;H01L33/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 散热 元件 处理 方法 | ||
1.一种散热元件,包括:
金属本体,其主要材质为铝,该金属本体的表面具有多个微纳米孔,该些微纳米孔的孔径小于300纳米。
2.如权利要求1所述的散热元件,其中该金属本体的材质为铝、或是铝合金。
3.如权利要求1所述的散热元件,其中该金属本体的表面形成有一金属氧化层,且该金属氧化层具有该些微纳米孔。
4.如权利要求3所述的散热元件,其中该金属氧化层的厚度小于15微米。
5.如权利要求3所述的散热元件,其中该金属氧化层的厚度为3微米至15微米。
6.如权利要求3所述的散热元件,其中该金属氧化层的厚度为5微米至10微米。
7.如权利要求3所述的散热元件,其中该金属氧化层的材质包括氧化铝、铝氧化合物或上述的组合。
8.如权利要求1所述的散热元件,其中该些微纳米孔的孔径为5纳米至300纳米。
9.如权利要求1所述的散热元件,其中该些微纳米孔的孔径为20纳米至80纳米。
10.如权利要求1所述的散热元件,其中该金属本体包括一底座以及连接于该底座的多个鳍片。
11.如权利要求1所述的散热元件,还包括多个纳米金属,填充于该些微纳米孔中。
12.如权利要求11所述的散热元件,其中该纳米金属的材质包括选自由镍、铜、钯、银、金、铂、钴、锡、铬、锌、铁、钼、镉、硒以及上述的合金中至少其中一者所组成的群组。
13.一种散热元件的处理方法,包括:
提供一金属本体,其主要材质为铝;
氧化该金属本体的表面;以及
进行一蚀刻制作工艺以在该金属本体的表面上形成多个微纳米孔,其中该些微纳米孔的孔径小于300纳米。
14.如权利要求13所述的散热元件的处理方法,其中氧化该金属本体的表面的方法包括使用硫酸、草酸或上述的组合所构成的水溶液将该金属本体的表面氧化。
15.如权利要求13所述的散热元件的处理方法,其中该蚀刻制作工艺所使用的蚀刻溶液包括硫酸、草酸、磷酸或其组合所构成的水溶液。
16.如权利要求13所述的散热元件的处理方法,还包括进行一电镀制作工艺以形成多个纳米金属,填充于该些微纳米孔中。
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