[发明专利]均温型多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种均温型多晶硅还原炉，它包括支座（1）、水夹套管板（10）和炉体（33），水夹套管板（10）安装在支座（1）上，炉体（33）通过法兰安装在水夹套管板（10），其特征是所述的炉体（33）由炉筒内壁（18）和弧形炉外筒（19）及球形炉外筒（20）组成，所述的炉筒内壁（18）面对炉腔的一面内壁氮化并设有热反射涂层；在炉筒内壁（18）与弧形炉外筒（19）之间、炉筒内壁（18）与球形炉外筒（20）之间均安装有螺旋布置的支撑板（24），弧形炉外筒（19）下部设有对筒体（33）进行冷却的冷却水进口（26），冷却水在炉筒内壁（18）与弧形炉外筒（19）及球形炉外筒（20）之间沿螺旋上升至炉体顶部设置的汽出口（23）排出炉体（33）外；所述的水夹套管板（10）中设有多圈电极套（12），电极套（12）设有冷却元件（36），电极座（15）穿装在电极套（12）中，电极座（15）的上端伸入炉体中用于插装硅芯棒（17），电极座（15）的下端穿过电极套（12）与电极（8）相连，电极套（12）的内部安装有冷却水夹套，水夹套的进水口（6）通过管道与冷却水源相连，水夹套的出水口（9）通过管道与排水口相连；所述的水夹套管板（10）的内腔通过进水管（35）送入冷却水；在所述的水夹套管板（10）上安装有多圈原料气喷嘴（32），原料气喷嘴（32）与进气分配管（3）的一端相连通，进气分配管（3）的另一端与原料进气环管（2）相连通；在水夹套管板（10）的外圈和中心分别连接有与炉体（33）的内腔相通的尾气出气管（5），尾气出气管（5）与尾气出气环管（4）相连通；冷却水出水管（30）与冷却水夹套环管（28）相连，冷却水夹套环管（28）通过冷却水夹套（7）与水夹套管板（10）内腔相通以便将其中的冷却水排出。

2.根据权利要求1所述的均温型多晶硅还原炉，其特征是所述的多圈电极套（12）与水夹套管板（10）的连接处设置有丝网或半圆管毛细管冷却元件（36）, 半圆管孔径为1-5mm, 丝网孔径为1-5mm。

3.根据权利要求1所述的均温型多晶硅还原炉，其特征是所述的炉内壁进行氮化增强反射处理，增加内壁硬度和强度，以减少磨损，并在炉内壁进表面形成高反射率涂层。

4.根据权利要求1所述的均温型多晶硅还原炉，其特征是所述的管板与原料气喷嘴（32）和尾气出气管（5）连接的炉体内腔出口处设置多孔或网格状过滤罩子（37），孔径为5-10mm, 网格间隔5-10mm。

5.根据权利要求1所述的均温型多晶硅还原炉，其特征是所述的炉体内腔直径不小于3米，所述的用于安装硅棒（17）的电极座（15）的数量不少于96个。

6.根据权利要求1所述的均温型多晶硅还原炉，其特征是所述的水夹套管板（10）内腔顶部设有水汽排气管（29）。

7.根据权利要求1所述的均温型多晶硅还原炉，其特征是所述的尾气出气管（5）同时安装在水夹套管板（10）的最外圈和中心。

8.根据权利要求1所述的均温型多晶硅还原炉，其特征是所述的连接炉体（33）与水夹套管板（10）的法兰上设有水夹套（31），水夹套（31）的进水口（27）与冷却水源相连，水夹套（31）的进水口（27）的另一端相应设有水夹套（31）的出水口（27）与冷却水排水管相连。

9.根据权利要求1所述的均温型多晶硅还原炉，其特征是所述的炉体（33）的上部安装有上视镜（21），中部安装有中视镜（16），下部安装有下视镜（14）。

10.根据权利要求1所述的均温型多晶硅还原炉，其特征是所述的炉体（33）的中部还安装有视镜测温口（25）。