[发明专利]检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及将半导体元件作为检查对象物进行检查的检查装置。

背景技术

已知有对LED芯片等半导体元件，通过边照射各种照明光边用观察光学系统观察该半导体元件，从而将该半导体元件作为检查对象物进行检查的检查装置（例如，参照专利文献1）。在该检查装置中，作为各种照明光之一，使用来自从检查对象物进行观察从观察光学系统的相反侧对该检查对象物进行照明的透射照明机构的透射照明。

在此，常见为半导体元件在保持粘贴于带（薄膜）的状态下从晶片切出，并以该带保持于环状部件的状态进行处理。因此，在检查装置中，考虑为了在保持维持该状态的状态下进行检查，而从观察光学系统的相反侧设置在环状部件的内侧保持带的筒状的保持台。

另外，在由保持台保持带的状态下，根据带的材质、检查对象物的重量等，有时带会产生挠曲，有时难以通过观察光学系统进行适当的观察。因此，在现有的检查装置中认为，在透射照明机构中设置呈长条的棒状且以平坦的前端面为射出面的射出部，利用该射出部的射出面推起由保持台保持的带，由此，使检查对象物位于观察光学系统的适当的观察位置（观察面）以进行检查。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－107254号公报。

但是，在作为透射照明机构的射出部中，由于需要做成具有用于使透射光射出的光学元件和保护并保持该光学元件的外框部的构成，所以，由于其外框部和保持台的内壁的干涉，可通过透射光适当照射由保持台保持的带的照射区域、即使用透射照明的有效检查区域要比保持台的内侧的区域小。换言之，不能将保持台的内侧作为有效检查区域最大限度地利用，会因保持带的保持台而导致检查的作业效率降低。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而做出的，其目的在于提供一种检查装置，其能够使用透射照明来高效且适当地检查在保持于环状部件的带上粘贴的检查对象物。

方案一所述的发明是，一种检查装置，其具备：观察光学系统，其将观察光轴上的规定位置设为观察面；反射照明机构，其从该观察光学系统侧对所述观察面进行照明；透射照明机构，其从所述观察光学系统的相反侧对所述观察面进行照明；以及保持台，其能在保持粘贴有检查对象物的带的环状部件的内侧从所述透射照明机构侧保持所述带，所述检查装置其特征在于，所述透射照明机构具有从所述保持台的外侧向所述观察面射出从光源导光的透射光的射出部，所述保持台具有：透射部件，其呈在所述观察光学系统侧设有规定沿着所述观察面的平面的平坦面的板状，而且允许从所述射出部射出的透射光的透射；以及位置调整机构，其以能相对于所述保持台进行有关观察光轴方向的位置调整的方式保持所述透射部件。

方案二所述的发明是，根据方案一所述的检查装置，其特征在于，有关观察光轴方向的位置调整是指在观察光轴方向的位置和相对于观察光轴方向的倾斜。

方案三所述的发明是，根据方案一或方案二所述的检查装置，其特征在于，所述位置调整机构能以在观察光轴方向进行观察将所述平坦面设成比所述保持台中的所述带的保持位置更靠所述观察光学系统侧的方式定位所述透射部件。

方案四所述的发明是，根据方案一～方案三的任一个所述的检查装置，其特征在于，还具备在所述透射部件的外侧位置将所述带向观察光轴方向的所述射出部侧按压的按压机构。

方案五所述的发明是，根据方案四所述的检查装置，其特征在于，所述按压机构在所述保持台的外侧位置按压所述环状部件。

方案六所述的发明是，根据方案四所述的检查装置，其特征在于，所述按压机构在所述保持台以包围所述透射部件的方式在该透射部件和保持所述带的部位之间进行吸引。

方案七所述的发明是，根据方案一～方案六的任一个所述的检查装置，其特征在于，所述射出部具有将导光的透射光的扩散降低的聚光光学部件，以便使透射光以规定的点区域向所述透射部件入射。

方案八所述的发明是，根据方案七所述的检查装置，其特征在于，所述聚光光学部件是还具有将在与透射光轴正交的剖面观察的光量分布均匀化的功能的棒状积分器光学部件。

根据本发明的检查装置，透射照明机构的射出部是从保持台的外侧照射观察面的构成，因此，能够可靠地防止射出部和保持台发生干涉。因此，由于可以对保持台的内侧的全区域照射透射光，所以可以遍及整个区域地将保持台的内侧设为有效检查区域，可以最大限度地确保有效检查区域。