[发明专利]一种新型的具有排气功能的常压等离子体自由基清洗喷枪在审
| 申请号： | 201110228265.3 | 申请日： | 2011-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN102921676A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 王守国;贾少霞;赵玲利 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B15/04;H05H1/30;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 具有 排气 功能 常压 等离子体 自由基 清洗 喷枪 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型的具有排气功能的常压等离子体自由基清洗喷枪，本发明是一种新型的具有排气功能的常压等离子体自由基清洗喷枪，包括射频电极、接地电极、射频电源以及排气风扇。其特征在于：喷枪由内壁面和外壁面两层组成，射频电极和接地电极在内壁面内，射频电极被介质阻挡层包裹，常压下，射频电极与接地电极的间隙之间发生放电，产生等离子体，等离子体中的自由基在气流的携带下从喷口喷射出来，与被清洗物体表面有机物发生反应，产生的反应产物可以及时通过排气口排走，防止了反应产物的堆积以及降低了反应产物对放电的影响，提高了处理速率，并且环保。
2.如权利1所述的具有排气功能的常压等离子体自由基清洗喷枪，其特征在于：喷枪内壁面和外壁面之间为一圈狭缝，狭缝与喷枪上端的排气风扇相通，反应产物通过风扇从排气管道排出。
3.如权利1所述的具有排气功能的常压等离子体自由基清洗喷枪，其特征在于：接地电极与内壁面连接，内壁面与外壁面均保持接地。
4.如权利1所述的具有排气功能的常压等离子体自由基清洗喷枪，其特征在于：采用射频放电产生等离子体，放电工作气体为氩氧混合气体，放电产生的自由基束流由喷口喷出。
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