[发明专利]一种加热装置及应用该加热装置的等离子体加工设备有效
| 申请号： | 201110216867.7 | 申请日： | 2011-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN102905405A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 南建辉;李永军 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 张天舒;陈源 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 加热 装置 应用 等离子体 加工 设备 | ||
1.一种加热装置，用于对载板进行辐射加热，所述加热装置与所述载板相对设置，其特征在于，所述加热装置上与所述载板相对的表面为曲面，所述曲面与所述载板之间的距离沿所述曲面的中心点到边缘的方向逐渐减小。
2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置包括发热部件和容纳所述发热部件的散热体；其中，
所述散热体用以对所述发热部件进行热传导，并且所述散热体与所述载板相对的表面为所述曲面；
所述发热部件相对于所述曲面均匀排布。
3.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述散热体为一体式结构，所述发热部件直接内嵌于所述散热体内部。
4.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述散热体包括容纳所述发热部件的壳体以及填充在所述壳体和所述发热部件之间的导热材料。
5.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述发热部件包括铠装加热管、电阻丝。
6.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述散热体的材料包括不锈钢。
7.根据权利要求4所述的加热装置，其特征在于，所述导热材料包括氧化镁。
8.根据权利要求7所述的加热装置，其特征在于，所述导热材料为粉末状。
9.根据权利要求4所述的加热装置，其特征在于，所述壳体的材料包括不锈钢。
10.一种等离子体加工设备，包括工艺腔室、设置于所述工艺腔室中的载板和加热装置，其特征在于，所述加热装置采用权利要求1-9中任意一项所述的加热装置。
11.根据权利要求10所述的等离子体加工设备，其特征在于，所述等离子体加工设备为等离子体增强化学气相沉积设备。
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