[发明专利]横向梳齿型微机械震动能量收集器无效
| 申请号： | 201110197883.6 | 申请日： | 2011-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN102874736A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 欧毅;陈大鹏;叶甜春;刘宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00;F03G7/08 |
| 代理公司： | 北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙) 11345 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 横向 梳齿 微机 震动 能量 收集 | ||
1.一种横向梳齿型微机械震动能量收集器，包括质量块(100)、外框架(200)、梳齿结构(101、205)、回折梁(201、202、203、204)、震动限位器(301、302)，其特征在于：回折梁(201、202、203、204)将质量块(100)连接在外框架(200)上。
2.根据权利要求1所述的一种横向梳齿型微机械震动能量收集器，其特征在于：质量块(100)在外界震动源的作用下沿X方向往复震动，其最大振幅由限位器(301、302)限制。
3.根据权利要求1所述的一种横向梳齿型微机械震动能量收集器，其特征在于：质量块(100)上具有第一凸出部分(101)，外框架(200)上具有第二凸出部分(205)，第一凸出部分(101)与第二凸出部分(205)组成的梳齿结构构成可变电容，在质量块(100)震动的过程中，电容的大小发生变化。
4.根据权利要求1所述的一种横向梳齿型微机械震动能量收集器，其特征在于：在梳齿结构(101、205)上具有氮化硅层。
5.根据权利要求4所述的一种横向梳齿型微机械震动能量收集器，其特征在于：氮化硅层厚度为50纳米。
6.一种制造如权利要求1所述的横向梳齿型微机械震动能量收集器的方法，包括：
提供衬底，衬底包括底层、中间层和顶层；
蚀刻顶层，直至暴露出中间层，形成质量块、外框架、梳齿结构、回折梁和震动限位器；
去除暴露出的中间层，使得质量块、梳齿结构、回折梁和震动限位器悬空；
形成电极。
7.如权利要求6的方法，其中，衬底为SOI，顶层厚度为200微米，中间层厚度为500微米。
8.如权利要求6的方法，其中，还在梳齿结构上CVD沉积50纳米厚的氮化硅。
9.如权利要求6的方法，其中，采用氢氟酸湿法去除中间层。
10.如权利要求6的方法，其中，电子束蒸镀2000厚的铝膜以形成电极。
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