[发明专利]一种新的全自动检测泵失效的方法有效
| 申请号： | 201110194146.0 | 申请日： | 2011-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN102418691A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 顾梅梅;陈建维;张旭升 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F04B51/00 | 分类号： | F04B51/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 检测 失效 方法 | ||
1.一种新的全自动检测泵失效的方法，其中，硅片是依次传送至工艺腔室中以进行制造过程，并且泵是用于为工艺腔室抽取一定的真空度，其特征在于，在上一片硅片在工艺腔室中结束制造后，下一片硅片还没有进入工艺腔室前，增加泵的底压检测的步骤，用于检测位于工艺周期中的泵的底压状态。
2.根据权利要求1所述新的全自动检测泵失效的方法，其特征在于，上一片硅片结束制造后，下一片硅片还没有进入工艺腔室前为一次工艺周期，并且该一次工艺周期依次包括硅片制造步骤和腔室清洁步骤。
3.根据权利要求2所述新的全自动检测泵失效的方法，其特征在于，在硅片制造步骤中，硅片位于工艺腔室中。
4.根据权利要求2所述新的全自动检测泵失效的方法，其特征在于，在腔室清洁步骤中，硅片不在工艺腔室中。
5.根据权利要求1所述新的全自动检测泵失效的方法，其特征在于，底压检测条件步骤具体为：在上一片硅片结束制造后，下一片硅片还没有进入工艺腔室前，并且在腔室清洁步骤结束之前，插入对泵的底压检测步骤。
6.根据权利要求5所述新的全自动检测泵失效的方法，其特征在于，若对腔室测出的气压底压数值低于设定值，则检测泵的功效符合要求，使得其他的硅片进入工艺腔室以完成下一个工艺周期。
7.根据权利要求5所述新的全自动检测泵失效的方法，其特征在于，若对腔室测出的气压底压数值高于或等于设定值，并在3秒钟内腔室测出的气压底压数值仍高于或等于设定值，则设置系统报警，并且自动跳过检测条件步骤，停止开始下一片硅片的制造过程。
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