[发明专利]一种真空腔的泄露量检测仪及检测方法

权利要求书

1.一种真空腔的泄露量检测仪，其特征在于：包括压差传感器以及控制器，所述压差传感器包括两个气体输入端，其中一个气体输入端与大气相连，另一个气体输入端与待测真空腔相连；所述控制器包括电源模块，信号处理模块，处理器以及告警输出模块，所述信号处理模块的输入端与所述压差传感器的输出端相连，所述处理器的输入端与所述信号处理模块的输出端相连，所述告警输出模块的输入端与所述处理器的输出端相连。

2.根据权利要求1所述的泄露量检测仪，其特征在于：所述电源模块包括变压器、整流电路以及二次电源转换电路，所述变压器的输入端与交流电源相连，所述整流电路的输入端与变压器的输出端相连，所述二次电源转换电路的输入端与整流电路的输出端相连。

3.根据权利要求1所述的泄露量检测仪，其特征在于：所述信号处理模块包括滤波整形电路、模数转换芯片、检测按钮、分压滤波整形电路以及反相器，所述滤波整形电路的输入端与所述压差传感器的输出端相连，所述模数转换芯片的输入端与所述滤波整形电路的输出端相连，所述模数转换芯片的输出端与所述处理器相连；所述检测按钮的一端与电源模块相连，另一端与分压滤波整形电路的输入端相连；所述反相器的输入端与分压滤波整形电路的输出端相连，反相器的输出端与与所述处理器相连。

4.一种真空腔的泄露量检测方法，其特征在于：该检测方法的具体步骤为： 

A．处理器通过信号处理模块获得首次真空腔相对大气的压力；

B．经过预设的时间后，处理器通过信号处理模块获得第二次真空腔相对大气的压力；

C．处理器计算两次真空腔相对于大气的实际压力差值；

D．将实际压力差值与预设在处理器内的设定压力差值进行比较后，由告警输出模块根据比较结果发出相应的信号。

5.根据权利要求4所述的泄露量检测方法，其特征在于：所述信号处理模块包括滤波整形电路、模数转换芯片、检测按钮、分压滤波整形电路以及反相器，所述滤波整形电路的输入端与所述压差传感器的输出端相连，所述模数转换芯片的输入端与所述滤波整形电路的输出端相连，所述模数转换芯片的输出端与所述处理器相连；所述检测按钮的一端与电源模块相连，另一端与分压滤波整形电路的输入端相连；所述反相器的输入端与分压滤波整形电路的输出端相连，反相器的输出端与与所述处理器相连。