[发明专利]一种硅烷膜的电沉积制备方法及其用途无效

专利信息
申请号: 201110187836.3 申请日: 2011-07-06
公开(公告)号: CN102230203A 公开(公告)日: 2011-11-02
发明(设计)人: 胡吉明;江亮亮;张鉴清 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: C25D9/02 分类号: C25D9/02
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 张法高
地址: 310027 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅烷 沉积 制备 方法 及其 用途
【权利要求书】:

1.一种硅烷膜的电沉积制备方法,其特征在于它的步骤如下:

1)依次加入40~100mL有机溶剂、10~200mL去离子水、1~30mL硅烷,用醋酸调节pH至3~6,充分搅拌均匀,置于25~40oC恒温水浴中预水解0.5~48小时,得到硅烷预水解液,待用;  

2)搭好薄液膜装置,并通过水平仪调整金属工作面至水平后,加入硅烷预水解液,金属基体为工作电极,围绕多圈环状铂丝作为对电极,饱和甘汞电极(SCE)作为参比电极,金属基体依次经400、600、800号金相砂纸打磨后,放入除油液中于30~60℃下超声5~60分钟,用自来水冲去电极表面残留除油液,去离子水冲洗电极表面后吹干置于干燥器中,待用;

3)薄液膜控制厚度为100~5000 μm,对工作电极施加-0.5~-1.4V的负电位,沉积时间为30s~30min,后立即将试样取出,用氮气吹去金属基体表面残余的硅烷预水解溶液,放入60~120oC干燥箱内固化0.5~5小时。

2.根据权利要求1所述的一种硅烷膜的电沉积制备方法,其特征在于所述硅烷为单硅烷和双硅烷,单硅烷结构通式为:

其中,R为甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基或乙酰基,X为烷基、烯基或被至少一个氨基、环氧基或巯基取代的烷基或烯基、甲氧基、乙氧基或苄基中的一种或多种;

双硅烷结构通式为:

其中,R 为甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基或乙酰基,Y为CH2CH2、(CH2)3-NH-(CH2)3或(CH2)3-S4-(CH2)

3.根据权利要求1所述的一种硅烷膜的电沉积制备方法,其特征在于所述的有机溶剂为甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇、乙酸乙酯或四氢呋喃。

4.根据权利要求1所述的一种硅烷膜的电沉积制备方法,其特征在于所述的薄液膜厚度如5000μm、2000μm、1000μm、600μm、100μm等。

5.根据权利要求1所述的一种硅烷膜的电沉积制备方法,其特征在于所述的薄液膜装置包括水平台(1)、有机玻璃槽(2)、工作电极(3)、对电极(4)、铂针(5)、螺旋测微器(6)、万用表(7)、支架(8)、电极固定平台(9);在支架(8)上固定有螺旋测微器(6),螺旋测微器(6)上固定有铂针(5),铂针(5)下设有有机玻璃槽(2),有机玻璃槽(2)放置在水平台(1)上,有机玻璃槽(2)内贮有硅烷膜预水解液,有机玻璃槽(2)侧壁垂直设有电极固定平台(9),工作电极(3)放置在电极固定平台(9)上,工作电极(3)围绕多圈环状铂丝作为对电极(4)。

6.根据权利要求1或5所述的一种硅烷膜的电沉积制备方法,其特征在于所述的薄液膜控制厚度的方法为:将万用表(7)的一端连接至工作电极(3),另一端连接至固定在螺旋测微器(6)上的铂针(5),调节螺旋测微器(6)缓慢接近工作电极(3),待铂针(5)接触到工作电极(3)时,万用表(7)上即有电流响应,记录下此时螺旋测微器(6)上读数h1;然后调节螺旋测微器(6)远离工作电极(3)后,注入硅烷预水解液后,重新调节螺旋测微器(6)缓慢靠近液面,待铂针(5)接触液面的瞬间,可明显观察到界面吸附现象,记录下此时螺旋测微器(6)上读数h2;薄液膜的厚度即为Δh=h2-h1

7.根据权利要求1所述的一种硅烷膜的电沉积制备方法,其特征在于所述的除油液的组成为:碳酸钠8g/L、硅酸钠5g/L、多聚磷酸钠8g/L,十二烷基磺酸钠1g/L、烷基酚聚氧乙烯醚5mL/L。

8.根据权利要求1所述的一种硅烷膜的电沉积制备方法,其特征在于所述的相对于饱和甘汞电极(SCE)为参比电极对工作电极施加-0.5~-1.4V的负电位,沉积时间为30s~30min。

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