[发明专利]一种用于氢化钛粉脱氢的真空炉装置及其脱氢方法

权利要求书

1.一种用于氢化钛粉脱氢的真空炉装置，其特征在于包括内部中空且上端开口的炉墙（1），炉墙（1）内壁上设置有加热装置（2），炉罐管（3）从炉墙（1）上端放入，炉罐管（3）顶端的炉盖（4）上设置有起吊环（5），充氩管（6）穿过炉盖（4）与炉罐管（3）内部连通，炉罐管（3）与外部抽真空系统（8）连接，料盘（10）通过支撑轴（12）安装在炉罐管（3）内，氢化钛粉（7）置于料盘（10）上。

2.根据权利要求1所述的一种用于氢化钛粉脱氢的真空炉装置，其特征在于所述料盘（10）为多个，上下间隔固定在支撑轴（12）上，且每个料盘（10）自身的高度为60-100mm，料盘（10）之间间隔距离为5-10mm，炉罐管（3）外壁与炉墙（1）上端开口接触部位设置有防止内部热量散失的隔热屏（9）。

3.根据权利要求1所述的一种用于氢化钛粉脱氢的真空炉装置，其特征在于所述加热装置（2）为多个，分布在炉墙（1）内的侧壁和底部，且每一个加热装置（2）与一个用于监控其温度变化和控制其功率的热电偶（11）连接。

4.一种利用上述真空炉装置进行氢化钛粉脱氢的方法，其特征在于包括下列步骤：

a、将待加工的氢化钛粉装入炉罐管内，相应检查其它辅助设备是否完好，准备启动开机；

b、开启外部抽真空系统，在预定时间内，真空度达到（8-12）^-2Pa，同时开启加热装置，当热电偶监控到温度升温到300℃时，氢化钛粉开始脱氢；

c、快速升温至700℃-800℃，开始保温4个小时，随后快速降温至280-320℃，炉罐管内压强一直保持（8-12）^-2Pa；

d、当降温至180℃-220℃时，向炉罐管内通入高纯氩气，炉罐管内压直至略大于外界大气压，通过起吊环快速将炉罐管吊离炉墙，将炉墙和炉罐管分离，并将炉罐管快速置于水池冷却。