[发明专利]一种用于太阳能电池硅片生产的石英舟无效

专利信息
申请号: 201110172681.6 申请日: 2011-06-24
公开(公告)号: CN102231406A 公开(公告)日: 2011-11-02
发明(设计)人: 沈法松 申请(专利权)人: 苏州凯西石英电子有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/673
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 孙仿卫;汪青
地址: 215233 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 太阳能电池 硅片 生产 石英
【权利要求书】:

1.一种用于太阳能电池硅片生产的石英舟,所述的石英舟包括水平设置的多根石英棒(1)、设置在所述多根石英棒(1)上的石英板(2)以及分别竖直设置在所述石英板(2)两相对侧的第一石英杆(3)和第二石英杆(4),所述第一石英杆(3)和第二石英杆(4)沿其长度方向均设有多个用于承载硅片(5)的凹槽(6),其特征在于:所述的石英板(2)上设有插孔(20),所述第一石英杆(3)和第二石英杆(4)插设在所述插孔(20)内。

2.根据权利要求1所述用于太阳能电池硅片生产的石英舟,其特征在于:所述第一石英杆(3)、第二石英杆(4)分别有四根,四根所述第一石英杆(3)与四根所述第二石英杆(4)分别对应。

3.根据权利要求1或2所述用于太阳能电池硅片生产的石英舟,其特征在于:所述多根第一石英杆(3)沿着所述石英板(2)的一侧均匀分布,所述多根第二石英杆(4)沿着所述石英板(2)的另一相对侧均匀分布。

4.根据权利要求1或2所述用于太阳能电池硅片生产的石英舟,其特征在于:所述多个凹槽(6)沿着所述第一石英杆(3)或第二石英杆(4)的长度方向均匀分布。

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