[发明专利]一种石英管耐高温涂层的制作方法及耐高温石英管

说明书

技术领域

本发明涉及一种在石英管表面形成耐高温涂层的方法及耐高温石英管。

背景技术

用于集成电路、半导体芯片氧化、还原、扩散、外延加工的炉具，要求化学稳定性好，膨胀系数小，耐高温的高纯度材料。目前，一般采用高纯度的石英玻璃制成石英管，石英玻璃的软化点温度约1730℃，可在1100℃下长时间使用，短时间最高使用温度可达1450℃，然而在特有的情况下，例如石英管进炉后要经过1250℃高温的长时间使用，显然超过了1100℃，则不可长时间使用，因此石英管必须较大幅度地增加壁厚，其结果不仅大大提高生产成本，而且由于石英管壁厚的增加，使其自重增加，在高温下易造成石英管中部下垂变形，同时降低了石英管的使用寿命。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种石英管耐高温涂层的制作方法，所得涂层能够进一步提高石英管在高温下长时间使用的极限，延长石英管的使用寿命，节约成本。

本发明同时还要提供一种耐高温石英管，其能够在高温下长时间使用，制作成本低，使用寿命长。

为解决上述技术问题，本发明采用的一种技术方案是：

一种石英管耐高温涂层的制作方法，其包括如下步骤：

（1）、将氧化铝打磨成粉状后与酒精混合均匀，形成氧化铝质量分数为24~26%的乳白色氧化铝溶液；

（2）、将石英管体用酒精擦拭干净，然后将其耐高温区浸没于步骤（1）调配好的氧化铝溶液中，滚动石英管体获得表面涂层均匀的涂层石英管；

（3）、用氢氧焰对步骤（2）所得涂层石英管进行表面火焰烧结处理，完毕即得所述石英管耐高温涂层。

优选地，步骤（2）中，涂层石英管的表面涂层的厚度为80~120μm。最有选为100μm。

本发明采取的又一技术方案是：一种耐高温石英管，其包括由石英玻璃制成的石英管体，所述耐高温石英管还包括根据上述的制作方法制作的耐高温涂层。

所述耐高温涂层的厚度优选为80~120μm，更优选的厚度为100μm。

由于采用以上技术方案的实施，本发明与现有技术相比具有如下优点：

本发明制作方法简单，且获得的耐高温涂层能够使得石英管表面组织连接更加紧密，提高了石英管表面组织失稳的温度，延长了石英管的使用寿命，节约了成本。

本发明的耐高温石英管，由于包括采用特定方法制作而成的耐高温涂层，在石英管体的厚度相同的情况下，本发明石英管的使用寿命更长；在达到相同的使用寿命时，本发明的石英管的制作成本更低。

附图说明

   下面结合具体的实施例，对本发明做进一步详细的说明。

图1为根据本发明的耐高温石英管的主视示意图；

图2为图1的剖视示意图；

其中：1、石英管体；10、低温区；11、高温区； 2、耐高温涂层。

具体实施方式

如图1与图2所示，按照本实施例的石英管包括具有低温区10和高温区11的石英管体1以及形成在所述石英管体1的高温区11的表面的耐高温涂层2。具有该结构的石英管按照如下方法制作得到：

（1）、首先将氧化铝打磨成粉状后与酒精混合均匀，形成乳白色氧化铝溶液，且溶液中的氧化铝的质量分数为24~26%；

（2）、将石英管体1表面用酒精擦拭干净，再将石英管体1的耐高温区2浸没于调配好的氧化铝溶液中，滚动使表面形成约100μm厚的涂层；

（3）、用氢氧焰对步骤（2）石英管体的涂层进行表面火焰烧结处理形成耐高温涂层2。完成后表面应为正常石英管的透明状。

本发明的耐高温石英，其管体表面组织连接更加紧密，提高警惕石英组织失稳的温度，比未经处理过的石英管耐高温可提高50℃左右。延长了石英管的使用寿命，节约了成本。

以上对本发明做了详尽的描述，其目的在于让熟悉此领域技术的人士能够了解本发明的内容并加以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明的精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围内。