[发明专利]一种阵列波导光栅波分复用器

权利要求书

1.一种阵列波导光栅波分复用器，包括依次连接的输入波导(501)、输入平板波导(503)、阵列波导(504)、输出平板波导(505)、输出波导(507)，所述输入波导(501)、输出波导(507)的截面均包括芯层、包裹芯层的包层，所述芯层折射率比包层大，其特征在于：所述输出波导(507)与输出平板波导(505)相连接的一端为带空气槽输出波导(506)，所述带空气槽输出波导(506)是芯层两侧均刻蚀有空气槽的高折射率差波导。

2.如权利要求1所述的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于：所述输入波导(501)与输入平板波导(503)相连接的一端为带空气槽输入波导(502)，所述带空气槽输入波导(502)是芯层两侧均刻蚀有空气槽的高折射率差波导。

3.如权利要求1所述的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于：所述带空气槽输入波导(502)、带空气槽输出波导(506)分别为多模干涉波导、弯曲波导、直波导、锥形波导或其它任意结构中的一种或几种的组合。

4.如权利要求1或2或3所述的阵列波导光栅波分复用器，其特征在于：所述空气槽内填充折射率低于芯层折射率的材料。