[发明专利]基于AZO/石墨烯/AZO结构的柔性电极及其制备

权利要求书

1. 一种基于AZO/石墨烯/AZO结构的柔性电极，包括有导电电极的基板，以及夹在AZO导电电极之间的石墨烯膜层，其特征在于：所述的石墨烯膜层夹在AZO薄膜之间，所述的柔性电极为夹层结构。

2. 根据权利要求1所述的一种基于AZO/石墨烯/AZO结构的柔性电极，其特征在于：所述的AZO薄膜的厚度为100~200nm。

3. 一种如权利要求1所述的基于AZO/石墨烯/AZO结构的柔性电极的制备方法，其特征在于：所述制备方法包括如下步骤：

1）将石墨烯分散在去离子水中形成石墨烯悬浮液，其浓度为0.02mg/mL~0.5mg/mL，备用；

2）采用磁控溅射法在柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯基板上镀AZO薄膜，AZO薄膜厚度为100~200nm；

3）在溅射有AZO的聚对苯二甲酸乙二醇酯基板上，利用步骤1）制备的石墨烯悬浮液，采用提拉法在样板上均匀地涂上一层石墨烯，晾干；

4）再次采用磁控溅射法，在经过步骤3）处理后的聚对苯二甲酸乙二醇酯基板上溅射AZO薄膜，AZO薄膜的厚度为100~200nm。

4.根据权利要求1所述的一种基于AZO/石墨烯/AZO结构的柔性电极的制备方法，其特征在于：所述步骤2）、4）中的磁控溅射法包括如下步骤：

（1）将AZO靶材与聚对苯二甲酸乙二醇酯基板放置于磁控溅射镀膜室中；抽低真空至2.9帕以下后开始抽高真空；当高真空度示数低于10^-2帕时开启射频电源进行预热；

（2）当高真空显示示数低于2×10^-3帕，并且射频电源预热自动停止时，调节Ar气流量计使辉光开启；

（3）启辉发生后立即将流量计示数调至18~25sccm，功率调至800~1100w；溅射镀膜即开始后开启旋转，使AZO薄膜溅射在聚对苯二甲酸乙二醇酯基板上。

5. 根据权利要求4所述的一种基于AZO/石墨烯/AZO结构的柔性电极的制备方法，其特征在于：所述步骤（3）的溅射镀膜时间为9~13min，所得的AZO薄膜厚度为100~200nm。