[发明专利]一种对钛金属表面进行改性的方法

权利要求书

1.一种对钛金属表面进行改性的方法，其特征在于：使用等离子体浸没离子注入及沉积技术在钛金属表面进行钽离子注入或镀膜，获得含有钽和/或钽氧化物的改性层。

2.根据权利要求1所述的一种对钛金属表面进行改性的方法，其特征在于：使用等离子体浸没离子注入及沉积技术在钛金属表面进行钽离子注入或镀膜时，钽金属为阴极。

3.根据权利要求1所述的一种对钛金属表面进行改性的方法，其特征在于，使用等离子体浸没离子注入及沉积技术在钛金属表面进行钽离子注入的工艺参数是：注入电压为15～30kV，脉冲频率为8Hz，脉宽为200～600μs，注入时间为60～120分钟。

4.根据权利要求3所述的一种对钛金属表面进行改性的方法，其特征在于，所述的注入工艺参数是：注入电压为30kV，脉冲频率为8Hz，脉宽为450μs，注入时间为60～120分钟。

5.根据权利要求1所述的一种对钛金属表面进行改性的方法，其特征在于，使用等离子体浸没离子注入及沉积技术在钛金属表面进行钽离子镀膜的工艺参数是：脉冲电压为450～550V，脉冲频率为7Hz，脉宽为1000～4000μs，占空比为15％，镀膜时间为60～120分钟。

6.根据权利要求5所述的一种对钛金属表面进行改性的方法，其特征在于，所述的镀膜工艺参数是：脉冲电压为450V，脉冲频率为7Hz，脉宽为2000μs，占空比为15％，镀膜时间为60～120分钟。

7.根据权利要求5或6所述的一种对钛金属表面进行改性的方法，其特征在于：在进行钽镀膜时同时通入氧气。

8.根据权利要求7所述的一种对钛金属表面进行改性的方法，其特征在于：通入的氧气流量为1～50标准毫升/分钟。

9.根据权利要求1所述的一种对钛金属表面进行改性的方法，其特征在于：所述的钛金属为生物医用钛金属材料。

10.根据权利要求9所述的一种对钛金属表面进行改性的方法，其特征在于：所述的生物医用钛金属材料是经草酸溶液预处理后的材料。