[发明专利]电动阀的脉冲驱动装置以及具备其的电动阀的控制系统

说明书

技术领域

本发明涉及例如用于对在半导体制造装置用冷却器、恒温槽等要求精密的温度调节的装置中使用的电动阀进行开关控制的脉冲驱动装置，更具体地说，涉及能够正确掌握为了更换或维护而需要的电动阀的寿命的脉冲驱动装置以及具备该脉冲驱动装置的电动阀的控制系统。

背景技术

使用步进电动机的电动阀能够进行精密的开闭控制，所以例如通过图7所示的系统，用于半导体制造装置用冷却器或恒温槽等要求精密的温度调节的装置(专利文献1、2)。在图7所示的电动阀的控制系统100中，根据来自控制装置104的控制信号，从脉冲驱动装置102对电动阀106发送驱动脉冲。

在这样的要求精密的温度调节的装置中使用的电动阀106在被频繁地进行开闭控制，此外，在作为电动阀106被频繁地进行高负荷状态下的全闭点附近的控制时，有时在短时间内超过电动阀106的机械寿命。

因此，为了进行电动阀106的更换及维护，需要掌握电动阀106的寿命。为了判断电动阀106的寿命，在控制装置104中对电动阀106的动作时间进行计数，把动作时间逐次存储在与控制装置104连接的存储单元108中，由此在电动阀106的动作时间达到预定值时进行电动阀106的更换。

【专利文献1】日本特开2003-329698号公报

【专利文献2】日本特开2008-286464号公报

【专利文献3】日本特开平3-90988号公报

发明内容

但是，目前在仅根据动作时间判断电动阀的寿命时，根据电动阀的动作状况或向电动阀的负荷施加情况，有时在达到事前决定的预定时间之前，电动阀超过了寿命。

本发明鉴于这样的状况，其目的在于提供一种电动阀的脉冲驱动装置以及具备该脉冲驱动装置的电动阀的控制系统，其能够根据对电动阀发送的驱动脉冲数正确地掌握电动阀的寿命，并且能够逐次掌握电动阀的动作状况，根据动作状况发出警报，能够防止电动阀的故障于未然。本发明是为了解决上述现有的技术问题以及达成目的而提出的，本发明的电动阀的脉冲驱动装置，其用于驱动电动阀，所述脉冲驱动装置的特征在于，具备：运算单元，其把输入给所述脉冲驱动装置的阀开度信号变换为驱动脉冲；以及驱动电路，其根据所述驱动脉冲来驱动所述电动阀，所述运算单元具备存储与所述电动阀的驱动有关的驱动履历的存储单元。

此外，本发明的电动阀的脉冲驱动装置的特征为，所述驱动履历至少包含驱动脉冲数。

此外，本发明的电动阀的脉冲驱动装置的特征为，所述驱动履历至少包含电动阀的反转次数、电动阀的着座次数、电动阀的阀开度、电动阀的位置信息中的任意一个。

此外，本发明的脉冲驱动装置的特征为，所述脉冲驱动装置具备警报输出电路，在所述驱动脉冲数超过了预定次数时，从所述警报输出电路发出警报。

此外，本发明的电动阀的脉冲驱动装置的特征为，在所述运算单元中，根据电动阀的阀开度或位置信息，在电动阀的着座次数超过了预定的次数时，从所述警报输出电路发出警报。

此外，本发明的电动阀的脉冲驱动装置的特征为，所述脉冲驱动装置具备通信单元，经由所述通信单元连接监视终端，通过所述监视终端能够读取在所述存储单元中存储的驱动履历。

此外，本发明的电动阀的脉冲驱动装置的特征为所述电动阀是使用了步进电动机的电动阀。

此外，本发明的电动阀的控制系统的特征为具备上述的任意一个电动阀的脉冲驱动装置。

根据本发明，在输出用于驱动电动阀的驱动脉冲的驱动装置中，因为设置有对驱动脉冲数进行计数/存储的单元，所以能够正确地对驱动脉冲数进行计数，能够正确地掌握电动阀的寿命。

此外，根据本发明，因为把用于掌握电动阀的寿命的驱动履历存储在脉冲驱动装置的存储单元中，所以仅通过把现有的电动阀的控制系统的脉冲驱动装置更换为本发明的脉冲驱动装置，便能够简单地设置成能正确地掌握电动阀的寿命的电动阀的控制系统。

附图说明

图1是表示本发明的电动阀的脉冲驱动装置的构成的系统框图。

图2是表示使用图1的脉冲驱动装置进行电动阀的控制的系统的一例的概要结构图。

图3是以输出波形的方式使对通过1-2相励磁方式驱动的电动阀输出的输出模式与表对应的图。

图4是使电动阀逆动作(RA动作)时的输入-输出特性图。

图5是使电动阀正动作(DA动作)时的输入-输出特性图。

图6是表示在监视终端显示的画面的一例的图。

图7是表示进行电动阀的控制的现有的系统的概要结构图。

具体实施方式