[发明专利]半导体封装件及其制法有效
| 申请号: | 201110084587.5 | 申请日: | 2011-03-31 |
| 公开(公告)号: | CN102683329A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
| 发明(设计)人: | 方颢儒;钟兴隆;张卓兴;蔡宗贤 | 申请(专利权)人: | 矽品精密工业股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L25/04 | 分类号: | H01L25/04;H01L23/552;H01L23/31;H01L21/56 |
| 代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 封装 及其 制法 | ||
1.一种半导体封装件,其特征在于,包括:
基板,具有相对的第一表面及第二表面;
多个半导体元件,接置且电性连接于该基板的第一表面上;
封装胶体,覆盖于该基板的第一表面与各该半导体元件上,且该封装胶体具有沟槽,以于该基板上划分多个封装单元,令每一个该封装单元具有至少一个该半导体元件;以及
金属层,形成于该基板与封装胶体上、及该沟槽中,以包覆各该封装单元的周围,且令该基板的第二表面外露该金属层。
2.如权利要求1所述的半导体封装件,其特征在于,该半导体封装件为射频模组。
3.如权利要求1所述的半导体封装件,其特征在于,该半导体元件为射频芯片。
4.如权利要求1所述的半导体封装件,其特征在于,该封装胶体具有外露的顶面与侧面、及结合至该基板的第一表面的底面,且该沟槽贯穿该封装胶体以连通该顶面与该基板的第一表面。
5.如权利要求4所述的半导体封装件,其特征在于,该金属层形成于该封装胶体的顶面与侧面上。
6.如权利要求1所述的半导体封装件,其特征在于,该金属层选自铜、镍、铁、铝或不锈钢材质。
7.一种半导体封装件的制法,其特征在于,包括:
准备一封装件预制品,包含:
基板,具有相对的第一表面及第二表面;
多个半导体元件,接置且电性连接于该基板的第一表面上;及
封装胶体,覆盖于该基板的第一表面与各该半导体元件上;
形成沟槽于该封装件预制品的封装胶体上,以于该基板上划分多个封装单元,令每一个该封装单元具有至少一个该半导体元件;以及
形成金属层于该基板与封装胶体上、及该沟槽中,以包覆各该封装单元的周围,且令该基板的第二表面外露该金属层。
8.如权利要求7所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该半导体封装件为射频模组。
9.如权利要求7所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该封装件预制品的制程,包括:
提供一承载件;
接置各该半导体元件于该承载件上;
将该封装胶体覆盖于该承载件上,以包覆各该半导体元件;以及
切割该封装胶体及承载件,以形成多个分离的该封装件预制品,其中,该经切割的承载件该封装件预制品的基板。
10.如权利要求7所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该半导体元件为射频芯片。
11.如权利要求7所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该封装胶体具有外露的顶面与侧面、及结合至该基板的第一表面的底面,且该沟槽贯穿该封装胶体以连通该顶面与该基板的第一表面。
12.如权利要求11所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该金属层形成于该封装胶体的顶面与侧面上。
13.如权利要求7所述的半导体封装件的制法,其特征在于,形成该沟槽的方式为镭射或机械切割。
14.如权利要求7所述的半导体封装件的制法,其特征在于,该金属层选自铜、镍、铁、铝或不锈钢材质。
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