[发明专利]一种单面腐蚀或清洗夹具

权利要求书

1.一种用于单面腐蚀或清洗的夹具，由芯柱、压环和螺圈组成，其特征在于：所述芯柱台阶的外径与样品以及压环直筒的外径相等，其内径与样品的有效直径以及压环的内径相等，台阶的深度比样品的厚度多2～5mm，芯柱上端周边的外螺纹与螺圈的内螺纹配研，并均布四个纵向通透凹槽，下端为一圆筒，其内径小于或等于上端台阶的内径，压环外设有突起环，其外径小于芯柱上端外径，螺圈上端通透部分的直径大于压环的外径0.5～1.5mm，比压环突起环的直径小2～8mm。

2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于：所述芯柱凹槽的宽度为3～6mm，深度从外侧面到台阶宽度1/3～1/2。

3.根据权利要求1或2所述的夹具，其特征在于：所述芯柱上端的中心与下端的圆筒共轴且通透，上端中心通透部分的直径在5mm到台阶内径之间，下端圆筒直径设计在10mm到台阶内径之间。

4.根据权利要求3所述的夹具，其特征在于：所述芯柱上端中心的直径与下端的圆筒内径相同，并等于台阶的内径。

5.根据权利要求1、2或3所述的夹具，其特征在于：所述芯柱台阶的高度范围在2～5mm。

6.根据权利要求1至5中任一权利要求所述夹具，其特征在于：所述芯柱上、下端为一体，上端高度为13～20mm，下端高度为10～50mm。

7.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于：所述压环的突起环与压环为一体，其下端插入芯柱后离芯柱上端面2～6mm，突起环高度为2～4mm，突起环上端到压环上端的距离为19～30mm。

8.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于：所述螺圈为一顶端有通透部分的盖状物，其内螺纹部分与退刀槽部分的总高度等于芯柱装上样品后，压环挤压在样品上，其突起环上端面到芯柱上端下边缘的距离：螺圈上端通透部分的直径比压环的外径大0.5～1.5mm，比压环突起环的直径小2～8mm；螺圈各处的厚度为2～4mm。