[发明专利]一种电沉积型光致抗蚀剂及其制备方法和成膜方法

权利要求书

1. 一种电沉积型光致抗蚀剂，其特征在于：包括如下组份：17.0-19.0wt%的水性丙烯酸类共聚物基体树脂、0.5-0.7wt%的光产酸剂、0.2-0.4 wt %的光敏剂、4.0-5.0wt%的活性稀释剂、1.0-2.0wt%的表面活性剂、2.0-3.0wt%的无机填料及70.0-72.0wt%的溶剂。

2. 如权利要求1中所述的电沉积型光致抗蚀剂，其特征在于：所述丙烯酸类共聚物的平均分子量为25000-30000，是丙烯酸类单体与丙烯酸酯类单体的共聚物，所述丙烯酸类单体和丙烯酸酯类单体的重量比为：1:（4.3-8.8）。

3. 如权利要求2中所述的电沉积型光致抗蚀剂，其特征在于：所述的丙烯酸类单体是丙烯酸和甲基丙烯酸中的一种或两种混合；所述丙烯酸酯类单体是甲基丙烯酸特丁酯、丙烯酸乙酯和丙烯酸-2-乙基己酯的混合，其质量配比为40:25:23；或是丙烯酸特丁酯、甲基丙烯酸羟乙酯和甲基丙烯酸月桂酸酯的混合，其质量配比为40:25:23；或甲基丙烯酸特戊酯、丙烯酸特丁酯和甲基丙烯酸缩水甘油酯的混合，其质量配比为40:25:23。

4. 如权利要求1中所述的电沉积型光致抗蚀剂，其特征在于：

所述的光产酸剂是：二硝基苄基对甲苯磺酸酯和2-对甲氧基苯乙烯-4，6-二（三氯甲基）-1,3,5-三嗪的混合物，其重量配比为1:1~1:2；

所述的光敏剂是：4,4’-二甲胺基二苯甲酮和二甲基羟基苯乙酮中的一种，或苯甲酮和安息香二甲醚的混合物，所述苯甲酮与所述安息香二甲醚的重量比为（1.5-1.6）:（1.4-1.5）；

所述的活性稀释剂是：（a）三羟甲基丙烷三丙烯酸酯或季戊四醇三丙烯酸酯与（b）二缩三丙二醇二丙烯酸酯或己二醇二丙烯酸酯的混合物，其重量配比为1:1~1.5:1；

所述的表面活性剂是：甘油聚氧乙烯醚、聚氧乙烯仲辛酚醚或乙二醇单丁醚；

所述的无机填料是：气相SiO₂和滑石粉的混合物，其重量配比为1.5:1~2:1；

所述溶剂是：丙酮和水的混合液，所述丙酮在混合液中的含量为3.0-6.0wt%。

5. 一种电沉积型光致抗蚀剂的制备方法，其特征是包括如下步骤：1）权利要求1-4任意一项所述的水性丙烯酸类共聚物基体树脂的制备；2）光致抗蚀剂的配制。

6. 如权利要求5所述的电沉积型光致抗蚀剂的制备方法，其特征是，所述步骤1）是将所述丙烯酸类单体、丙烯酸酯类单体混合物、有机过氧类引发剂、叔丁基溶纤剂和异丙醇，加热混合制备得到水性丙烯酸类共聚物基体树脂，所述水性丙烯酸类共聚物基体树脂的固含量为：42.0-49.0wt%，所述有机过氧类引发剂是过氧化二碳酸二乙基己酯、过氧化二异丙苯、过氧化苯甲酸特丁酯和过氧化二苯甲酰中的一种。

7. 如权利要求6所述的电沉积型光致抗蚀剂的制备方法，其特征是，所述步骤1）包括如下分步骤，所述份为重量份：

1.1）将所述叔丁基溶纤剂885-944份与异丙醇236-295份的混合有机溶剂，在无氧条件下，搅拌加热到80℃-85℃；

1.2）将所述丙烯酸类单体100-150份、丙烯酸酯类单体混合物650-880份和过氧化二苯甲酰10-12份组成的混合液在2~3h内滴加到分步骤1.1）所述的混合有机溶剂中，在分步骤1.1）所述的温度下搅拌5~7h；

1.3）将偶氮二异丁腈8-10份溶解于异丙醇中，所得的溶液在10~15 min内滴加到所述分步骤1.2）的反应液中，在80℃-85℃下搅拌2~3h，制得所述水性丙烯酸类共聚物基体树脂。

8. 如权利要求5-7任意一项所述的电沉积型光致抗蚀剂的制备方法，其特征是，所述步骤2）包括如下分步骤：

2.1）将所述水性丙烯酸类共聚物基体树脂、光产酸剂、光敏剂、活性稀释体、表面活性剂和无机填料溶解于丙酮中混合而成光敏性树脂组分；

2.2）在分步骤2.1）所述的光敏性树脂组分中加入有机胺，然后加入水，制得光致抗蚀剂，所述光致抗蚀剂的固含量为17-20wt%。