[发明专利]一种投影光学系统

权利要求书

1.一种投影光学系统，包括三个光源，与光源对应的三个聚光透镜组，一组分光反射镜，匀光镜，中继透镜，TIR棱镜，数字微反射镜装置，以及一个投影镜头，其特征在于所述光学系统中除分光反射镜外无其他折镜，且中继透镜有位置调节系统。

2.根据权利要求1所述的一种投影光学系统，其特征在于所述光束从匀光镜出射后直接经过中继透镜，直接进入TIR棱镜。

3. 根据权利要求1或2所述的一种投影光学系统，其特征在于所述光学系统中的中继透镜可以通过调节系统对其进行x、y、z方向上的位置调节，使之可以补偿由于其他光学元件的加工公差和装配公差而引起的系统效率损失。

4.4．根据权利要求1 所述的一种投影光学系统，其特征在于所述系统中的匀光装置位于分光反射镜与中继透镜之间。

5. 根据权利要求1所述的一种投影光学系统，其特征在于所述系统中的微反射镜装置以固定间隔设置固定角度可转动的微反射镜阵列，且微反射镜的转动轴与微反射镜装置的系统基准成90度。

6. 根据权利要求1所述的一种投影光学系统，其特征在于所述系统中的分光棱镜，由两块较小的棱镜构成，即由第一棱镜与第二棱镜粘合而成，且第一、第二棱镜中都有全反射面。