[发明专利]基板处理装置和基板处理方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，其包括载置各基板且搬送的编号顺序已被确定的模块组，在模块组中，包括搬送的编号顺序相同且对基板进行相同处理的多个模块所构成的多模块，

利用搬送部件从一个模块取出基板，在接受下一模块的基板之后将先前的基板交于该下一模块中，由此通过将置于各模块中的基板向顺序上为后一个的模块移动来进行一个搬送循环，在进行该一个搬送循环之后，进入下一搬送循环，通过依次进行各搬送循环，基板依次从所述模块组中的编号顺序小的模块被搬送至编号顺序大的模块，并被实施规定的处理，

在通常时，对所述多模块的各模块从之前的模块开始以基板的规定顺序进行分配，

该基板处理装置的特征在于，包括：

存储部，其存储对基板分配编号顺序，将使基板的编号顺序与各模块相关联并指定搬送循环的搬送循环数据依时间顺序排列而制成的搬送行程表；和

控制部，其以参照所述搬送行程表，将写入搬送循环数据的基板搬送至与该基板对应的模块的方式控制所述搬送部件，由此实施搬送循环，

所述控制部构成为，在构成所述多模块的多个模块的至少一个为不能够使用的不可使用模块并且至少一个处于能够使用的状态时，进行下述(1)和(2)的动作：

(1)在出现不可使用模块时，在所述搬送部件在搬送循环中位于所述不可使用模块的下游侧或者访问搬送循环的上游端的模块之前，

(1-a)将预定搬入不可使用模块的、置于不可使用模块的前一个模块中的基板的搬送目的地，变更为该基板的下一个基板将要搬入的模块，

(1-b)在该基板的下一个基板将要搬入的模块为不可使用模块时，进一步检索下一个基板将要搬入的模块，由此搜索能够使用的模块，并将该能够使用的模块作为搬送目的地，

(1-c)在前一基板为不能够从这样决定的搬送目的地模块内搬出的状态时，不使搬送部件待机来进行搬送循环，直至成为基板能够搬出的状态；

(2)在出现不可使用模块时，在搬送循环开始，所述搬送部件在搬送循环中位于所述不可使用模块的上游侧时，

(2-a)将预定搬入不可使用模块的、置于不可使用模块的前一个模块的基板的搬送目的地变更为该基板的下一个基板将要搬入的模块，

(2-b)在该基板的下一个基板将要搬入的模块为不可使用模块时，进一步检索下一个基板将要搬入的模块，由此搜索能够使用的模块，将该能够使用的模块作为搬送目的地，

(2-c)在前一基板为不能够从这样决定的搬送目的地模块内搬出的状态时，使搬送部件的搬送动作至少在被确定为所述搬送目的地的模块的上游侧待机。

2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于：

涂敷、显影装置包括：用于在曝光前在基板上形成涂敷膜的模块组，和用于进行作为在曝光后对基板进行的处理的、包括显影的处理的模块组，该涂敷、显影装置对基板涂敷抗蚀剂，并且使曝光后的基板显影，在该涂敷、显影装置中，用于形成这些涂敷膜的模块组和用于进行包括显影的处理的模块组分别具有专用的搬送通路，由专用的搬送部件在模块组之间进行基板的搬送，载置各基板且搬送的编号顺序已被确定的模块组，是用于在曝光前在基板上形成涂敷膜的模块组。

3.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于：

涂敷、显影装置包括：用于在曝光前在基板上形成涂敷膜的模块组，和用于进行作为在曝光后对基板进行的处理的、包括显影的处理的模块组，该涂敷、显影装置对基板涂敷抗蚀剂，并且使曝光后的基板显影，在该涂敷、显影装置中，用于形成这些涂敷膜的模块组和用于进行包括显影的处理的模块组分别具有专用的搬送通路，由专用的搬送部件在模块组之间进行基板的搬送，载置各基板且搬送的编号顺序已被确定的模块组，是用于进行作为在曝光后对基板进行的处理的、包括显影的处理的模块组。

4.一种基板处理方法，其用于基板处理装置，该基板处理装置具有载置各基板且搬送的编号顺序已被确定的模块组，在模块组中，包括搬送的编号顺序相同且对基板进行相同处理的多个模块所构成的多模块，

利用搬送部件从一个模块取出基板，在接受下一模块的基板之后将先前的基板交于该下一模块，由此通过将置于各模块中的基板向顺序上为后一个的模块移动来进行一个搬送循环，在进行该一个搬送循环之后，进入下一搬送循环，通过依次进行各搬送循环，基板依次从所述模块组中的编号顺序小的模块被搬送至编号顺序大的模块，并被实施规定的处理，

在通常时，对所述多模块的各模块从之前的模块开始以基板的规定顺序进行分配，

该基板处理装方法的特征在于，包括：

参照对基板分配编号顺序，将使基板的编号顺序与各模块相关联并指定搬送循环的搬送循环数据依时间顺序排列而制成的搬送行程表，利用所述搬送部件，将写入搬送循环数据的基板搬送至与该基板对应的模块的工序；和

在构成所述多模块的多个模块的至少一个为不能够使用的不可使用模块并且至少一个处于能够使用的状态时，进行下述(1)和(2)的动作的工序，

(1)在出现不可使用模块时，在所述搬送部件在搬送循环中位于所述不可使用模块的下游侧或者访问搬送循环的上游端的模块之前，

(1-a)将预定搬入不可使用模块的、置于不可使用模块的前一个模块中的基板的搬送目的地，变更为该基板的下一个基板将要搬入的模块，

(1-b)在该基板的下一个基板将要搬入的模块为不可使用模块时，进一步检索下一个基板将要搬入的模块，由此搜索能够使用的模块，并将该能够使用的模块作为搬送目的地，

(1-c)在前一基板为不能够从这样决定的搬送目的地模块内搬出的状态时，不使搬送部件待机来进行搬送循环，直至成为基板能够搬出的状态；

(2)在出现不可使用模块时，在搬送循环开始，所述搬送部件在搬送循环中位于所述不可使用模块的上游侧时，

(2-a)将预定搬入不可使用模块的、置于不可使用模块的前一个模块的基板的搬送目的地变更为该基板的下一个基板将要搬入的模块，

(2-b)在该基板的下一个基板将要搬入的模块为不可使用模块时，进一步检索下一个基板将要搬入的模块，由此搜索能够使用的模块，将该能够使用的模块作为搬送目的地，

(2-c)在前一基板为不能够从这样决定的搬送目的地模块内搬出的状态时，使搬送部件的搬送动作至少在被确定为所述搬送目的地的模块的上游侧待机。