[发明专利]光学关键尺寸检测设备中用户自定义轮廓的方法

权利要求书

1.一种在光学关键尺寸检测设备中用于自定义轮廓模板的方法，包括如下步骤：

ii.获取至少两个控制点以及基准点的位置信息；

iii.获取至少一对所述控制点之间的连线的几何规律；

所述控制点和基准点的位置信息和连线的几何规律作为所述轮廓模板的数据，相应几何规律的所述连线用于连接位于相应位置的所述控制点，以形成作为所述轮廓模板的图形。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括如下步骤：

i.获取所述轮廓模板的至少一个轮廓参数；

所述步骤ii获取由所述至少一个轮廓参数描述的、所述控制点的位置信息；

所述步骤iii获取作为这一对所述控制点之间连线的几何规律的参数方程，该方程包括这一对控制点的位置以及表征该连线几何特征的参数，也可以包含轮廓模板的轮廓参数；

所述步骤ii获取描述轮廓模板对应的图形在样品轮廓中具体位置的基准点；

所述轮廓模板的数据还包括所述轮廓参数；

所述控制点位置、基准点位置、连线的几何规律的参数方程使用具体的数值和数学表达式描述。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述步骤i包括以下至少一项：

-获取至少一个公共的轮廓参数，所述公共的轮廓参数用于建立所述轮廓模板时使用，并且用于建立样品轮廓模型和由模型重建样品轮廓时由用户所设定；

-获取若干个私有的轮廓参数，所述私有的轮廓参数用于建立所述轮廓模板时使用。

4.一种在光学关键尺寸检测设备中建立样品轮廓模型的方法，该方法包括如下步骤：

-接收来自用户的、将所述样品轮廓拆分为至少一个轮廓部分的输入；

-对于各轮廓部分，使用根据权利要求1至3中任一项所述的方法建立相应的轮廓模板，和/或调用使用根据权利要求1至3中任一项所述的方法已建立的相应的轮廓模板；

-接收来自用户的、对所述各轮廓模板各自的轮廓参数的设定；

-使用所述各轮廓模板以及各自的轮廓参数的设定，将所述各轮廓模板组合为所述样品轮廓模型。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一接收步骤接收来自用户的、将所述样品轮廓拆分为至少两个轮廓部分的输入；

所述第二接收步骤还接收来自用户的、以所述至少两个轮廓模板各自的基准点来描述的所述至少两个轮廓模板对应的图形的位置；

所述组合步骤根据所述至少两个轮廓模板对应图形的位置，将所述至少两个轮廓模板组合为所述样品轮廓模型。

6.一种在光学关键尺寸检测设备中重建样品轮廓的方法，该方法包括如下步骤：

-使用根据权利要求4或5所述的方法建立样品轮廓的模型；

-根据对所述样品轮廓的模型中使用的各轮廓模板的轮廓参数的所述设定，将所述轮廓参数的值赋值给描述所述各轮廓模板的控制点以及控制点之间的相应连线的参数方程的数学表达式中该所述轮廓参数，其中，所述设定包括轮廓参数的具体值、取值范围或包含其它轮廓参数的表达式；

-根据被赋值的控制点以及参数方程，计算各轮廓模板的所述控制点的位置以及之间的连线上的至少两个离散点的位置，连线上的离散点的数量依据该连线的几何规律和轮廓图形所需的精度确定，依次连接相邻离散点的线段得到模板对应的图形，从而重建样品的轮廓。

7.一种在光学关键尺寸检测设备中用于建立轮廓模板的装置，包括：

-第二单元，用于获取至少两个控制点以及基准点的位置信息；

-第三单元，用于获取至少一对所述控制点之间的连线的几何规律，相应几何规律的所述连线用于连接位于相应位置的控制点，以形成作为所述轮廓模板对应的图形。

8.根据权利要求7所述的装置，包括：

-第一单元，用于获取所述轮廓模板的至少一个轮廓参数；

所述第二单元用于获取由所述至少一个轮廓参数描述的、所述控制点的位置信息；

所述第三单元用于获取作为所述连线的几何规律、包括这一对所述控制点的位置信息的参数方程。