[发明专利]热式光检测器、热式光检测装置及电子设备

权利要求书

1.一种热式光检测器，其特征在于，包括：

热式光检测元件；以及

支承部件，用于支承所述热式光检测元件，

其中，所述支承部件包括：

承载部件，用于承载所述热式光检测元件；

至少一条臂，与所述承载部件连接；以及

配线层，形成于所述承载部件及所述至少一条臂上，并与所述热式光检测元件连接，

所述至少一条臂包括：

臂基端部，与所述承载部件连接；以及

臂主体部，从所述臂基端部延伸，

所述臂主体部从所述臂基端部沿所述承载部件的轮廓向第一延伸方向延伸，所述臂基端部在从所述承载部件朝向外方的第二延伸方向延伸，

所述臂主体部与所述第一延伸方向正交的宽度形成为第一宽度，所述臂基端部与所述第二延伸方向正交的宽度形成为大于所述第一宽度的第二宽度，

所述第一延伸方向和所述第二延伸方向交叉。

2.根据权利要求1所述的热式光检测器，其特征在于，还包括：

基板，支承所述至少一条臂的所述臂主体部的端部，

在所述基板和所述支承部件之间设置有空腔部。

3.根据权利要求1或2所述的热式光检测器，其特征在于，

所述至少一条臂包括第一臂、第二臂，

在所述第一臂和所述第二臂中的至少一个臂上具有所述配线层。

4.根据权利要求3所述的热式光检测器，其特征在于，

所述第一臂和所述第二臂在相对于所述承载部件的中心成点

对称的位置上分别具有所述臂基端部。

5.根据权利要求4所述的热式光检测器，其特征在于，

所述配线层包括：第三宽度的第一配线层，与所述热式光检测元件连接，配置于所述臂基端部；以及第四宽度的第二配线层，与所述第一配线层连接，并配置于所述臂主体部，所述第四宽度小于所述第三宽度。

6.根据权利要求5所述的热式光检测器，其特征在于，

所述热式光检测元件包括：多层结构部，包括上部电极；绝缘膜，覆盖所述支承部件的一部分、所述多层结构部的侧面及顶面，且形成有形成于所述顶面、使所述上部电极露出的开口；以及电极触头，填充所述开口，并与所述上部电极连接，

其中，所述第一配线层与所述电极触头连接，并经由所述绝缘膜上的斜面和所述绝缘膜与所述支承部件之间的阶梯部向所述臂基端部延伸。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的热式光检测器，其特征在于，

从俯视图看，所述承载部件为四边以上的多角形，

所述臂基端部沿着与所述多角形的一边正交的方向延伸，

所述臂主体部具有在与所述一边平行的方向延长的部分。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的热式光检测器，其特征在于，

从俯视图看，所述承载部件的轮廓线为弯曲线，

所述至少一条臂的所述臂基端部具有跨所述承载部件的弯曲的轮廓线和所述至少一条臂的外侧轮廓线之间的区域以所述第二宽度形成的宽幅区域。

9.根据权利要求2至6中任一项所述的热式光检测器，其特征在于，

从俯视图看，所述承载部件包括弯曲的轮廓线，

所述第一臂的所述臂基端部具有跨所述承载部件的弯曲的轮廓线和所述第一臂的外侧轮廓线之间的区域以所述第二宽度形成的宽幅区域，

所述第二臂的所述臂主体部包括沿所述第一臂的所述臂基端部延长的部分。

10.根据权利要求9所述的热式光检测器，其特征在于，

所述第一臂的所述外侧轮廓线包括在所述臂基端部相交的两条轮廓直线，

所述第二臂的所述臂主体部具有沿所述第一臂的所述两条轮廓直线的一条延长的部分。

11.一种热式光检测装置，其特征在于，

沿正交的两轴的方向二维配置根据权利要求1至10中任一项所述的热式光检测器。

12.一种电子设备，其特征在于，包括权利要求1至10中任一项所述的热式光检测器。

13.一种电子设备，其特征在于，包括根据权利要求11所述的热式光检测装置。